Material Characterization

シリコン・化合物・2D半導体材料 研究開発・品質管理ソリューション

シリコン・化合物の半導体材料分析ソリューションを数多く提案

お客様の真の分析パートナーとして、最先端材料の研究開発から品質管理まで役立つ分析装置をご提案

アプリケーションに応じて、グレーティングからシステムまで一貫した設計を自社で行っています

12inchウェハへの対応や歪/結晶性評価など半導体材料分析に最適！

AFMとラマン分光が同時に測定可能なナノイメージング装置

性能とユーザビリティを両立し、独自のイメージング機能を搭載し、高速ラマンイメージングを実現！

コンパクトで高感度なラマン分光装置

簡単・迅速な定量分析で、生産現場での工程管理を効率化

お手持ちの顕微鏡に分光器・検出器を搭載し分光システムにバージョンアップ！顕微PL・ラマンなどの分析が可能

超薄膜の膜厚・屈折率・消衰係数を分析、膜質の均一性を評価

マイクロスポット機能により数十㎛エリアの膜厚・膜質を分析可能

SEMのボードに挿入でき、ラマン分析とカップリングが可能

超高感度・高波長分解能と高い拡張性で広い発光波長範囲に対応

キャリア寿命評価が可能、多彩な光源波長で、ワイドレンジ（ピコ秒～数秒）に対応

迅速深さ方向元素分析をH～Ｕまで対応、超高真空不要ですぐ測れる！

非破壊でのIC内部の異物観察やFPC配線の不良解析など多彩な機能を搭載した蛍光X線分析装置

金属や固体材料中の酸素・窒素・水素の分析が可能

シリコン・化合物の半導体材料分析ソリューションを数多く提案