Endpoint Detection

プラズマプロセスのエンドポイントやプラズマの分布制御により、生産性を向上させたい。

Endpoint Detection

多彩なHORIBA分光技術によるプラズマモニタリング

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プラズマ発光モニタ　EV-140C Series

微弱な発光変化をとらえ、的確にエンドポイントを検出

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総合カタログ

Answer to Semiconductor

シリコン・化合物の半導体材料分析ソリューションを数多く提案

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＜出展ソリューション　ダウンロードページ＞
・Material Characterization　・CMP Process Evaluation　・Utility / Facility　・Fluid Control　・Chemical Concentration Monitor　・Mask Inspection　・Chamber Health Monitoring　

HORIBA SHOWCASE　「SEMICON Japan 2023」　トップページにもどる