半導体・TV・通信機器などの電子デバイス産業では、クリーンルーム内での分子状汚染物質(AMC*)が製品や製造装置の性能に影響を与え、生産品質不良の原因となります。
*AMC=Airborne Molecular Contamination
HORIBAのAMCモニタリングシステムは、自動測定により汚染濃度のトレンド監視やケミカルフィルタの維持管理をサポートし、従来の手分析による測定を補完し、お客様の課題解決に貢献しています。またの室外大気の測定を組み合わせることにより、より包括的な計測ソリューションを提案できます。
窒素酸化物(NOx)濃度測定装置
窒素酸化物(NOx)濃度測定装置
アンモニア(NH3)濃度測定装置
硫黄酸化物(SO2)濃度測定装置
硫黄酸化物(SO2)濃度測定装置
硫化水素(H2S)濃度測定装置
全炭化水素(THC)濃度測定装置
オゾン(O3)濃度測定装置