XGT-9000 Pro/Expert

微小部X線分析装置 (X線分析顕微鏡)

高感度化と新イメージング技術で、前処理不要・非破壊の簡単元素分析!

事業セグメント: Scientific
製造会社: HORIBA, Ltd.
  • 高感度・高速マッピング - 分析時間短縮に貢献

強度を損なわず微小なスポットでも高速マッピングが可能です。また、高輝度であるため、ノイズの少ない鮮明なマッピング像が取得できます。


  • 広範囲の光学像をクリアに撮れる

選択したエリアを自動で分割し、高精細画像を収集します。


  • 新イメージング技術 - 充実の画像解析ソフト

ピーク分離マップや特定元素の強調表示、画像重ね合わせなど画像解析ツールが充実しています。画像処理による強調表示を活用すれば異物を迅速に検出できます。高輝度X線とイメージング技術の組み合わせで一連の異物分析をこれ一台で完結でき、数十μmサイズまでの異物分析が可能となりました。


  • 世界初!B(ホウ素)からの分析が可能に(対応機種:XGT-9000 Expert)

※ 2022 年8 月現在、卓上型のエネルギー分散型蛍光X 線分析装置において

従来は複数の装置を用いざるを得なかった酸化物や窒化物、有機物などの分析も1台で完結できます。金属やセラミックはもちろんのこと、燃料電池の高分子膜、食品に混入した樹脂を含む異物も高感度に分析できます。また、含水試料・含油試料中の軽元素測定も可能です。


  • バラエティ豊かなX 線プローブ- 試料に合わせた分析

試料のサイズに合わせて最適なプローブを選択できます。適切なプローブを用いることで、微小部位の高分解能分析や試料表面の高速分析を可能にします。


アプリケーション

  • 電池:セパレータフィルム上の異物

異物の検出・元素組成分析を行うことで、異物の発生源を推定できます。目視では確認できない埋没した異物や微小異物も高輝度X線とイメージング技術で検出可能になります。また、粒子検出機能により、粒子数や粒子サイズを求めたり、取得した粒子の座標位置から詳細分析を行うこともできます。


  • 生体試料:元素分布測定

生体試料研究において重要な元素分布情報を取得できます。試料内に水分やガスを保持した生体試料は、真空環境下でX線による測定ができませんが、XGT独自の部分真空モードを使用することで、水分やガスを含む試料も測定が可能です。さらに、ヘリウムパージ※を用いることにより、生体試料でも軽元素分析が可能です。
※ヘリウムパージオプション搭載時


  • 金属材料:腐食・汚染部位の表面解析

材料分析において重要な元素分布情報を、非破壊で取得できます。SEM-EDXとは異なり、前処理不要で大きな試料をそのまま分析でき、カーボンや金属コーティング処理をしていない非導電性試料の分析も可能です。酸素の検出が可能なため、腐食かどうかの判別ができます。※軽元素検出オプション搭載時

軽元素検出オプションを搭載することで、酸素(O)の検出が可能です。


  • 電子部品:故障解析、RoHS 指令

蛍光X線像と透過X線像を同時に取得することで、故障原因となる電子部品内部の欠陥や異物を発見できます。また、RoHS指令対象物質のスクリーニング用途として、規制元素の定性・定量が可能で、専用ソフトウェアを用いることで有害元素の合否判定結果も表示できます。


▶関連アプリケーションはこちら

基本情報 
測定原理エネルギー分散型蛍光X線分析法
検出可能元素Na(11)~ Am(95)(XGT-9000 Pro)
B(5)~ Am(95)(XGT-9000 Expert)
最大試料サイズ[W x D x H]300 x 250 x 80 mm
ステージ可動範囲[W x D x H]100 x 200 x 20 mm
光学像全体像 / 詳細像
詳細像観察 / X線分析箇所同軸
X線管 
管電圧15 kV, 30 kV, 50 kV
管電流最大 1 mA
ターゲット材Rh
光学素子 
キャピラリ搭載数3
検出器 
蛍光X線検出器液体窒素レス検出器(SDD)
透過X線検出器(透過X線像)
マッピング 
マッピング領域100 x 100 mm(最大)
画素数4 種切り替え
光学カメラ(詳細観察像) 
視野角2.5 x 2.5 mm
光学分解能<10 μ m
焦点距離(WD)1 - 10 mmの間で可変
照明周囲、同軸、透過光照明
その他 
真空引き範囲試料室全体 /光学系のみ真空
データインテグリティ対応21CFR Part11対応


  • XGT シリーズのご使用に際しましては、電離放射線障害防止規則に基づいて、設置の30 日前までに所轄の労働基準監督署への届出が必要です。
  • 漏洩X 線実効線量率限度並びにその測定方法は、JAIMAS-0101-2001 に適合しています。

 

フィルム中の異物分析
フィルム中の異物分析
X線分析顕微鏡XGT-9000なら断面出しなどの前処理が不要、かつ非破壊で異物の成分測定が可能です。目視で確認できる異物の非破壊分析はもちろん、目視では確認が難しい異物についても、蛍光X線を用いた元素マッピングと独自の画像処理技術で容易に異物の位置、成分特定できます。
大気非暴露状態でのLIB電極充放電サイクル後の元素分布
大気非暴露状態でのLIB電極充放電サイクル後の元素分布
リチウムイオン電池材料の活物質など、活性が高い試料は大気に触れると直ちに変質してしまいます。微小部X 線分析装置XGT-9000 の測定の際、トランスファーベッセルを用いることで、試料が大気曝露されることなく分析でき、試料本来の元素の分布状態を確認できます。
蛍光X線を用いた電子部品の不具合解析事例
蛍光X線を用いた電子部品の不具合解析事例
電子機器は多種多様な微小部品から構成されており、小さな異物でも機器全体の不具合につながるため、品質の確保には微小部の精密な解析が欠かせません。本アプリケーションでは、微小部X線分析装置 XGT-9000による電子部品の不具合解析事例を紹介します。

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