HORIBA 是高性能汽化系統的領先供應商之一。 HORIBA 的液體蒸發器用於整個半導體製造過程，以安全高效地將氣相液體前輸送到使用點。無論液體需要在真空或大氣壓力下汽化，HORIBA 都可以提供汽化技術來滿足您的要求。 HORIBA 擁有 30 多年的汽化專業知識，採用直接噴射、混合噴射、和加熱汽化技術。
HORIBA的液體源汽化系統可以穩定、有效率地汽化液體材料。我們的蒸發器還可以連接到 HORIBA 的自動加注系統系列，以將蒸汽安全、連續地輸送到使用點。由於可以在不中斷製造過程的情況下更換液罐，因此不會造成停機。
HORIBA有經驗的一些液體材料
Acetic Acid | Benzene | B(OCH3)3 | BTBAS | C6F6 |
Cyclohexane | Decyl-TMOS | DPM | DPMS | Ethanol |
Ge(OCH3)4 | GeCl4 | H2O | HCD | HDFDA |
HMDS | HMDSO | i-Octane | IPA | Me-Cyclohexane |
Methanol | n-Octane | OMCTS | OMTS | P(OCH3)3 |
PO(OCH3)3 | SAM24 | Si(CH3)4 | Si(OCH3)4 | SiCH3Cl3 |
SiCl4 | SiH(OCH3)3 | SiHCl3 | Ta(OC2H5)5 | TBTDETa |
TDEAHf | TDEAT | TDMAS | TDMAT | TEB |
TEMAHf | TEMAZr | TEOS | TEPO | THF |
Ti(O-iPr)4 | TiCl4 | TMCTS | Toluene | 1,3-DMA |
如果您需使用上面未列出的任何液體材料，請與我們聯絡
Mixed Gas Generators MU Series
Test Gas Generation Systems
Compact Baking System
Liquid Auto Refill System
如您有任何疑問，请在此留下詳細需求或問題，我們將竭誠您服務。