汽化系統

半導體製造設備越來越需要更快速的液體材料汽化系統，並且已經採用許多直接汽化系統來滿足這些需求。內部質量流量控制器/儀表用於載氣和液體材料的流量控制部分。 HORIBA 獨特的系統陣容專為滿足客戶的需求而量身訂做。 液體材料和載氣流速由CNC質量流量控制器/儀表控制，並引入專用汽化部分。在汽化器中，液體材料和載氣被有效地給予熱量以連續汽化。簡單的結構使得能夠建造緊湊且輕量的液體材料汽化系統。