
図11:ダブルビーム方式(コンデンサーマイクロホン)分析計の構造と動作原理
交叉調製法(雙光束) …方法6
雙光束方法(附電容麥克風)…方法 1
雙光束法(附流量感測器)…方法2
方法 2:雙光束法(含流量感測器)
図12:ダブルビーム方式(フローセンサー)分析計の構造と動作原理
特徵
集光模組和流量感測器的組合實現了紅外線分析儀的外部影響減少(特別是振動)、高靈敏度和小型化。
結構及工作原理
樣品池和參考池吸收的每束紅外線輻射被旋轉半月板的斬波器交替收集在集光塊中,收集到的紅外線輻射經濾光片透射進入主探測器進行測量成分。對應於進入的紅外線輻射量,在偵測器內的前室和後室中發生紅外線吸收,這增加了每個室的溫度。
同時,由於兩個腔室之間的溫差而產生封閉氣體的流動並通過流量感測器。由於流量感測器測量的流量與氣體濃度成正比,因此將其作為氣體濃度檢測訊號送至訊號處理。 透過流量感測器的氣體方向與斬波器的運動同步切換。檢測器內對被測成分的具體操作如下。
比較室的紅外線輻射進入→ 前室的封閉氣體流入後室→ 斬波器旋轉→ 樣品室的紅外線輻射進入→ 後室的封閉氣體流入前室→ 斬波器旋轉→ 比較室的紅外線輻射進入→ 重複・・・・・・・
此操作序列對應於電容式麥克風的隔膜的移動。電容式麥克風測量壓力差,而流量感測器測量流速。並且,干擾分量的補償偵測器的工作原理與被測分量的主偵測器的工作原理相同。
方法 4:單光束法(附熱釋電感測器)
図13:シングルビーム方式(焦電センサ―)の分析計の構造と動作原理
特徵
使用熱釋電感測器的紅外線輻射偵測器不需要像氣動偵測器那樣封閉氣體。因此,小型化是最大的優點,但靈敏度比氣動偵測器低。
結構及工作原理
此方法使用偵測器的熱釋電感測器來檢測樣氣吸收的紅外線輻射,並以斬波器作為調製機構。為了檢測樣品氣體中的每種測量成分的溫度變化,針對每種測量成分使用一組濾光器和熱釋電感測器。熱釋電感測器檢測每種被測成分的紅外線吸收變化,並根據檢測和比較訊號計算每種被測成分的濃度。
【交叉調製】
使用電磁閥作為調製機構的氣體切換方法(1 Hz)
方法六:交叉調變法(雙光束)
圖 14-1:交叉調變法(雙光束)分析儀的結構
結構和工作原理(圖14-1和14-2)
與使用斬波器的傳統調製不同,交叉調製方法使用電磁閥單元定期切換,將樣品氣體和參考氣體交替引入同一氣室,因此電磁閥單元執行調製機制。此方法的分析器結構示例如圖 14-1 所示。
斬波器的調製改變了提供給樣品和參考池的紅外線光源的量,而交叉調製方法改變了流向樣品和參考池的氣體。除調製機制外,檢測被測成分濃度所需的被測成分檢測功能和乾擾成分補償功能與目前介紹的紅外線氣體分析儀相同,因此本節重點介紹調製機制的操作(圖14-2)。
圖 14-2: 交叉調變方法的調變操作原理
電磁閥單元使樣氣同時流入左氣室,參考氣體同時流入右氣室。若樣氣中存在被測氣體成分,電容式傳導器的膜片將向左側膨脹(朝向樣品池)(圖14-2,左圖)。
接下來,切換電磁閥單元,樣氣流入右氣室,參考氣同時流入左氣室(圖14-2,中圖)。
若樣氣中存在被測氣體成分,電容式傳導器的膜片將向右側(朝向樣品池)膨脹(圖14-2,右圖)。
以規則的周期重複此操作以調製電容式麥克風的偵測訊號。透過向左右擺動偵測器中電容式麥克風的振膜,此方法可以獲得比使用斬波器兩倍的偵測訊號量,從而提高抗噪性。此外,透過使樣品和參考氣體流過各個氣室進行測量的機構,透過減少紅外線光源的劣化和氣室污染對檢測訊號的影響,實現隨時間穩定的測量結果。
図15:クロスモジュレーション方式(シングルビーム)の分析計の構造と動作原理
非色散紅外線吸收(NDIR)分析儀因其可以連續測量多種被測成分的濃度而被應用於多種領域。例如,它用於監測廢氣、製程氣體和大氣條件,以及測量和控制半導體製造過程中的氣體。
除了氣體測量外,NDIR 分析儀還用於水和液體分析、連續測量以及固體材料的元素分析。
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