การติดตามการปนเปื้อนโมเลกุลในอากาศในห้องปลอดเชื้อของอุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์

• การวิเคราะห์ด้วยตนเองต้องใช้ต้นทุน ทักษะ และเวลา
• อยากทราบเวลาที่เหมาะสมในการเปลี่ยนไส้กรองเคมี
• การกัดกร่อน ของอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์
• เลนส์กระจกฝ้าของอุปกรณ์การผลิต
• ฟิล์มออกซิไดซ์มีแรงดันไฟฟ้าลดลง
• ข้อผิดพลาดในการแกะสลัก
• ฟิล์มบางเจริญเติบโตผิดปกติ

ระบบตรวจสอบ AMC ของ HORIBA รองรับการตรวจสอบแนวโน้มความเข้มข้นของสารปนเปื้อนและการบำรุงรักษาตัวกรองสารเคมีผ่านการวัดอัตโนมัติ รวมถึงเสริมการวัดแบบเดิมที่ใช้การวิเคราะห์ด้วยมือ จึงช่วยแก้ไขปัญหาของลูกค้าได้ ด้วยการวัดบรรยากาศภายนอกแบบผสมผสาน เราจึงสามารถเสนอโซลูชันการวัดที่ครอบคลุมมากขึ้นด้วยระบบนี้

คุณสมบัติ

• การวัดแบบอัตโนมัติและต่อเนื่องที่เสถียร
  ประเมินสาเหตุของข้อบกพร่องในผลิตภัณฑ์/อุปกรณ์ต่อพ่วงและเมื่อใดควรเปลี่ยนตัวกรองเคมีโดยการติดตามแนวโน้ม
• ใช้งานง่าย
  ไม่จำเป็นต้องมีทักษะพิเศษ ลดต้นทุนการจัดการ เวลา และต้นทุนแรงงาน
• สร้างระบบตามคำร้องขอ
  การวัดหลายจุดด้วยตัวเลือกเส้นและรถเข็น พกพา (ตัวเลือก) รองรับไม่เพียงแต่การวัดในห้องคลีนรูมเท่านั้น แต่ยังรวมถึงการวัดอากาศภายนอกอีกด้วย

• การวัดค่าการปนเปื้อนโมเลกุลในอากาศ (AMC) ภายใน Clean Room หรือในอากาศระบายอากาศ
• การวัดแบบโฟกัสที่จุดใดจุดหนึ่ง เช่น บริเวณรอบนอกของอุปกรณ์บางอย่าง
• ตรวจจับเหตุการณ์เฉพาะ เช่น ความเข้มข้นของไนโตรเจนออกไซด์เพิ่มขึ้นเนื่องจากการจราจรที่เพิ่มขึ้น (บรรยากาศกลางแจ้ง)