
ส่วนประกอบ | แอมโมเนีย *1 / ไนโตรเจนออกไซด์ |
รุ่น | APNA-370/CU-2 (รุ่นความไวสูง) |
หลักการ | Cross Modulation Chemiluminescence วิธีการตรวจจับ + ตัวเร่งปฏิกิริยาออกซิเดชัน |
Range | 0 - 100 / 200 / 500 / 1000 ppb |
ขีดจำกัดการตรวจจับต่ำ (LDL) *ค่าทั่วไปภายใต้เงื่อนไขบางประการ | 1 ppb |
ระยะเวลาในการแสดงผล (ที 90) | ภายใน 5 นาทีจากทางเข้าตัวอย่าง CU-2 |
ส่วนประกอบที่แสดง | ค่าทันทีของ NH 3 / NOx |
เอาท์พุตแบบอะนาล็อก | กระแสตรง 4 - 20 mA หรือ 0 - 1 V DC |
อินเทอร์เฟซ การสื่อสาร | RS-232C หรือ TCP/IP |
ตัวอย่างอัตราการไหลของก๊าซ | Approx. 2.0 L/min |
Operation gas | N/A |
ก๊าซสอบเทียบ | เจือจางก๊าซ NO ที่ใช้ N 2 ด้วย SGGU-610 |
อุณหภูมิโดยรอบ | เทียบเท่ากับอุณหภูมิห้องสะอาด |
ความชื้นโดยรอบ | เทียบเท่ากับความชื้นในห้องคลีนรูม |
ระบบไฟฟ้า | แรงดันไฟฟ้า AC100 - 120 โวลต์, AC200 - 240 โวลต์ |
การกำหนดค่า (อุปกรณ์วิเคราะห์และสอบเทียบ) | APNA-370 / CU-2 (รุ่น ความไวแสงสูง) SGGU-610 (พร้อมเครื่องขัดพื้น NH 3 พิเศษสําหรับแก๊สเป็นศูนย์) |
*1: แอมโมเนียที่มีเอมีนรวมอยู่ด้วย
・CU-2: คอนเวอร์เตอร์, SGGU-610: เครื่องกำเนิดแก๊สมาตรฐาน