- ๋๋
ธ์ฌ์ด์ฆ์ ํน์ฑ์ ํด์ํ๋ ์ค์ํ 3๊ฐ์ง ์์์ธก์ (๋๋
ธ์
์์ธก์ ใป์ ํ์ ์์ธก์ ใป๋ถ์๋์ธก์ )์ ํ๋์ ์ง์ฝ.
- ppm ์ค๋์ ํฌ๋ฐ๊ณ๋ถํฐ ์์ญ๏ผ
๋ ๋ฒจ์ ๊ณ ๋๋์๋ฃ๊น์ง, ๋ณธ๋์ ์ํ ๊ทธ๋๋ก ์ํ๋งใป์ธก์ ์ด ๊ฐ๋ฅ.
- ๋ฏธ์์ฉ๋์ ๊ธฐ์๋์
์ ์์ฒด๊ฐ๋ฐ, 100ฮผL์ํ๋ง์์์ ์ ํ์ ์ ์ธก์ ๊ฐ๋ฅ.
- ์ฝ๋ก์ด๋์
์, ๊ธฐ๋ฅ์ฑ๋๋
ธ์ฌ๋ฃ, ๊ณ ๋ถ์, micelle, ๋ฆฌํฌ์ข, ๋๋
ธ์บก์๋ฑ ๊ด๋ฒ์ํ ์์ฉ๋ถ์ผ์ ์ ํฉ.
์ํ๋งํ์๋ ์ธก์ ๊ฐ์ ๋ฒํผ์ ๋๋ฅด๋ ๊ฒ์ผ๋ก ์คํผ๋ฌ์ด์
์๋ฃ.
ํญ๋์ Application
โ์ธ๋ผ๋ฏน๋๋
ธ์
์
โ๊ธ์๋๋
ธ์
์
โ์นด๋ณธ
โ์ ์ฝ
โ๋ฐ์ด๋ฌ์ค
โ๋๋ฃใป์๋ฃ
โํ์ฅํ
โํด๋ฆฌ๋จธ
โ์ํ
โCMP
์
์๋ถํฌ์ธก์
ใป์ธก์ ๋ฒ์๏ผ0.3nmใ8000nm
ใปNEDO๊ตญ๊ฐ ํ๋ก์ ํธ์ ๊ณต๋๊ฐ๋ฐ๋ก ๊ณ ์ฑ๋ฅํ๋ฅผ ์คํ.
ใป์ฑ๊ธ๋๋
ธ์
์์ ์ฉ ๊ดํ๊ณ์, 90๋ ๊ดํ๊ณ๋ฅผ ์ฑ์ฉ.
ใปํญ๋์์ธก์ ์๋ฃ๋๋๋ฒ์
ใ๋์ผ๊ดํ๊ณ ํ์ฌ๋ก ์ฌ๋ฌ๋ฆฌ, ์๋ฃ ๋ฑ ๊ณ ๋๋ ์๋ฃ๋ถํฐ, micelle, ํด๋ฆฌ๋จธ ๋ฑ ํฌ๋ฐ๊ณ ์๋ฃ์ ์ธก์ ๊น์ง ๋์.
์ ํ์ ์์ธก์
ใปHORIBA๊ฐ ๋
์๊ฐ๋ฐํ ํ์คํ๋ ๋ง์ดํฌ๋ก์
๋ก 100ฮผL์ ์ํ๋ง ์ฉ๋์ผ๋ก ์ธก์ ๊ฐ๋ฅ
์
์๋ถํฌ์ธก์ ์

โLysozyme๏ผ๋ฌ๊ฑํฐ์๏ผใ์ด์ฐ buffer pH4.3
ใ๋ถ์๋๏ผ์ฝ14000ใ๋๋๏ผ0.1mg/mLใํ๊ท ์ง๊ฒฝ๏ผ4.0nm

โ์ผ์ฐ Thiamin๏ผ๋นํ๋ฏผB1์ผ์ฐ์ผ๏ผ
ใ๋ถ์๋๏ผ337ใ๋๋๏ผ300mg/mLใํ๊ท ์ง๊ฒฝ๏ผ0.5nm
์ ํ์ ์์ธก์ ์

โNIST SRM1980 ฮฑ-FeOOHใ์ด๋๋๏ผ2.53ยฑ0.12ฮผmcm/Vs
ใ<์ธก์ ๊ฒฐ๊ณผ>์ด๋๋๏ผ2.53ฮผmcm/Vs, ์ ํ์ ์๏ผ32.9mV

โRUDOXยฎ TM SiO2, 0.01mol/L KCl
ใ<์ธก์ ๊ฒฐ๊ณผ> ์ ํ์ ์๏ผ-38.3mV
โปclass1 ๋ ์ด์ ธ ์ ํ
ใป์
์๋ถํฌ์ธก์ ์๋ฆฌใป์ ํ์ ์์ธก์ ์๋ฆฌใป๋ถ์๋์ธก์ ์๋ฆฌ๋ใ๊ธฐ์ ํ์ด์งใ๋ฅผ ์ฐธ์กฐํด์ฃผ์ธ์.
ใป์
์๋ถํฌ์ธก์ ใป์ ํ์ ์์ธก์ ใป๋ถ์๋์ธก์ ์ ์ดํ๋ฆฌ์ผ์ด์
์ใ์ดํ๋ฆฌ์ผ์ด์
์ ๊ธฐํ์๋ฃใ๋ฅผ ์ฐธ์กฐํด์ฃผ์ธ์.
์ธก์ ๊ธฐ์
๋์ ๊ด์ฐ๋๋ฒ์์ํ ๋ฏธ๋ฆฝ์ ์ฌ์ด์ฆ์ ์ธก์ ๋ฐฉ๋ฒ์ ์ฉ์ก์ค์ ๋ถ์ฐํ์ฌ ๋ธ๋ผ์ด์ด๋์ ํ๊ณ ์๋ ์
์์ ๋ ์ด์ ธ๋ฅผ ์กฐ์ฌํ์ฌ ์
์๋ก๋ถํฐ ์ฐ๋ํ๋ ๋น์ ๊ด์ ์์ฆ๋ฐฐ๊ด(PMT)์ผ๋ก ๊ฒ์ถํฉ๋๋ค. ํฐ์
์๋ ๋๋ฆฌ๊ณ ์์์
์๋ ๋น ๋ฅธ ๋ธ๋ผ์ด ์ด๋์ ํ๊ณ ์๊ธฐ๋๋ฌธ์ ์
์๋ก๋ถํฐ ์ฐ๋๊ด์ ์ด ์์ง์์ ์๋์ ๋ฐ๋ฅด๋ ์ฐจ์ด๋ฅผ ๊ฐ์ง ์ ํธ๋ก์ ๊ฒ์ถํฉ๋๋ค. ์๊ธฐ์๊ด๋ฒ์ ์ํด ํด์ํ๊ณ ์๊ธฐ์๊ดํจ์๋ฅผ ๊ตฌํ๊ณ ์
์๊ฒฝ์ ๋ถํฌ๋ฅผ ์ฐ์ถํฉ๋๋ค.


์๊ธฐ์๊ดํจ์โป์ ์ฐ์ถ์ ์ด๋ค ์์์ ์๊ฐ(t)์์์ด์์ ์ฐ๋๊ฐ๋์ ๊ทธ ฯ์๊ฐ ํ์ ๊ฐ๋์ ์ฐจ์ด๋ฅผ ๋น๊ตํ๋ ๊ฒ์
๋๋ค. ํฐ ์
์๋ค์ ์ฒ์ฒํ ์์ง์ด๊ธฐ ๋๋ฌธ์ ฯ์๊ฐ ํ์ ์์ง์(๋ณํ)๋ ์๊ณ ์๋งํ ๊ณก์ ์ผ๋ก ๋๊ณ , ์์ ์
์๋ค์ ๋น ๋ฅด๊ณ ํ๋ฐํ๊ฒ ์์ง์ด๊ธฐ ๋๋ฌธ์ ฯ์๊ฐ ํ์ ๋ณํ๊ฐ ํฌ๊ฒ ์ผ์ด๋ฉ๋๋ค.๏ผ์ ๊ทธ๋ฆผ ์ฐธ์กฐ๏ผ์ด ์
์์ ์์ง์์ ์ํ pattern์ ๋ณํ๊ฐ ํ์ฐ๊ณ์๋ก ์ ๋ํ๋๊ณ , ์
์๊ฒฝ์ ๊ด๊ณ์๏ผStokesใป์์ธ์ํ์ธ์์ผ๋ก ๋ถํฐ ์
์๊ฒฝ(ํฌ๊ธฐ)(d)๊ฐ ์ป์ด์ง๋๋ค. (์๋ ์ ์ฐธ์กฐ)
โป์๊ธฐ์๊ดํจ์๏ผ์ฐ๋๊ด ๊ฐ๋์ ํ๋ค๋ฆผ์ ์๊ฐ๋ณํ๋ก ๊ตฌํ๊ณ ์ด๊ฒ์ ์ด์ฐจํจ์๋ก ํ์ํ ๊ฒ. ์์์ ์๊ฐ(t)์ ์์ด์์ ์ฐ๋๊ด ๊ฐ๋์ ๊ทธ ฯ์๊ฐ ํ์ ๊ฐ๋๋ฅผ ๋น๊ตํฉ๋๋ค.
Stokesใป์์ธ์ํ์ธ์๊ณผ ํ์ฐ๊ณ์๋ก๋ถํฐ ์
์๊ฒฝ(ํฌ๊ธฐ) (d)๋ฅผ ๊ตฌํฉ๋๋ค.
โ ์ด์ฐจ์๊ธฐ์๊ดํจ์ ์

โ Stokesใป์์ธ์ํ์ธ ์

D๏ผ ํ์ฐ๊ณ์ k๏ผ ๋ณผ์ธ ๋ง์์ ๏ฝ๏ผ ์ฐ๋ ๋ฒกํฐ
T๏ผ ์ ๋์จ๋ ฯ๏ผ Delay ์๊ฐ ฮท๏ผ ๋ถ์ฐ๋งค์ ์ ๋ ๏ฝ๏ผ ์
์๊ฒฝ๏ผ์ง๊ฒฝ๏ผ

- ์ ํ์ ์์ธก์ ์๋ฆฌ (์ ๊ธฐ์๋๋ํ๋ฌ๋ฒ)

์ฉ์ก์ค์ ๋ถ์ฐ๋์ด ์๋ ๋ฏธ๋ฆฝ์, ์ฝ๋ก์ด๋๋ ํ๋ฌ์ค ํน์ ๋ง์ด๋์ค์ ๋์ ๋์ด ์๊ณ , ๊ทธ ์ฃผ์๋ฅผ ๋ฐ๋์ ์ ํ๋ฅผ ๊ฐ์ง๋ ์ด์จ์ด ๋๋ฌ์ธ์ ์ด์ด๋์ ํ๊ณ ์์ต๋๋ค. ๊ฑฐ๊ธฐ์ ์ ์ฅ์ ์ฃผ๋ฉด ์
์์ ์ ํ์ ๋ฐ๋์ ์ ์๋ฐฉํฅ์ผ๋ก ์ด๋ํฉ๋๋ค. ์ด๋ ์๋๋ ์ ํ๋์ ๋น๋กํฉ๋๋ค. ์ด๋์์ ๋น์ ์กฐ์ฌํ๋ฉด, ๊ทธ ์ด๋ ์๋์ ๋ฐ๋ผ์ ๋ํ๋ฌยท์ํํธ๋ฅผ ์ผ์ผํจ ์ฐ๋๊ด์ด ๊ด์ฐฐ๋๋ฉฐ ์ํํธ๋์ ์ด๋ ์๋์ ๋น๋กํฉ๋๋ค. ๋ค์ ๋งํด ์ฐ๋๊ด์ ์ฃผํ์๋ณํ๋์ ์ธก์ ํ๋ ๊ฒ์ผ๋ก, ์
์์ ํ๋ฉด์์์ ์ ์=์ ํ์ ์๊ฐ ์ธก์ ๋ฉ๋๋ค. ๋ฏธ๋ฆฝ์์ ํ๋ฉด์ํ๋ฅผ ํ์
ํ๋ ์งํ๋ก์, ์ ํ์ ์๋ฅผ ์ธก์ ํ๊ณ ๋ถ์ฐ์ฑ์ด๋ ๋ฏธ๋ฆฝ์์ ๊ธฐ๋ฅ์ฑ๊ฐ์ ์ ํ์ํ๊ฒ ๋ฉ๋๋ค.
โ์ ๊ธฐ์๋๋ฒ
์ ํ์ ์๋ฅผ ์ธก์ ํ๋ ๋ฐฉ๋ฒ์ ์ด๋ฏธ ๋ช๋ช์ด ํ๋ฆฝ๋์ด์ง๊ณ ์์ต๋๋ค๋ง, HORIBA์ nano partica์์๋ ์ ๊ธฐ์๋๋ฒ์ ์ฑ์ฉํ๊ณ ์์ต๋๋ค. ์ฉ๋งค์ค (์ฉ๋งค์ ๊ตด์ ์จ=n)์ ๋ถ์ฐ๋์ด ์๋ ์๋ฃ ์
์์, ๋ ์ด์ ๋น(ํ์ฅ=ฮป)์ ์กฐ์ฌํ๊ณ , ์ ์ฅ(์ ๊ธฐ์ฅ)์ ์ฃผ์์ ๋์ (์ ์=E) ๊ฒ์ถ ๊ฐ๋ฮธ๋ก ํฌ์ฐฉํ๋ ์ฃผํ์๋ณํ์์๋ ์
์๊ฐ ์ด๋ํ๋ ์๋(V) ๋ฐ ์ด๋๋ (U=V/E)๋ ๋ค์ ๊ด๊ณ๊ฐ ์ฑ๋ฆฝ๋ฉ๋๋ค.


์ป์ด์ง ์ ๊ธฐ์ด๋๋์ ์ ํ์ ์์์ ๊ด๊ณ์๋ ๋ค์ ์์ด ์ฑ๋ฆฝ๋ฉ๋๋ค.

ฮถ ๏ผ์ ํ์ ์ ๏ผต ๏ผ์ ๊ธฐ์ด๋๋ ๏ผฅ ๏ผ์ ์ n ๏ผ์ฉ๋งค์ ๊ตด์ ์จ
ฮต ๏ผ์ฉ๋งค์ ์ ์ ์จ ฮท ๏ผ์ฉ๋งค์ ์ ๋ ๏ฝ๏ผฮบa๏ผ ๏ผํจ๋ฆฌ์์

์๋ฃ๋๋๋ฅผ ์กฐ์ ํด์ ์ ์ ๊ด์ฐ๋๋ฒ์ ์ํ ๊ณ์ธก์ ํ๊ณ , Debyeํ๋กฏ์ ์ด์ฉํด์ ์ ๋๋ถ์๋์ ๊ณ์ฐํ๋ ๋ฐฉ์์
๋๋ค. ํฉ์ฑ ๊ณ ๋ถ์๋ ๋จ๋ฐฑ๋ฑ์ ์์ฒด๊ณ ๋ถ์๊น์ง ํญ๋๊ฒ ๋์ํฉ๋๋ค. ๋์ผ ์ํ๋ง์ผ๋ก ๋์ ๊ด์ฐ๋๋ฒ์ ์ํ ์
์๊ฒฝ๋ ์ธก์ ํ ์ ์์ต๋๋ค.
์์ฉ ํ๋ก๊ทธ๋จ
์ฑ๊ธ๋๋
ธ์
์๏ผ๋งฅ์๋น(maltose)์
์๊ฒฝ ์ธก์
์ด๋น๋ฅ์ ์๋ maltose์ ์์ฉ์ก์ ์
์๊ฒฝ ์ธก์ ์ ๋์ ๊ด์ฐ๋์ผ๋ก ์คํ. ๊ทธ ๊ฒฐ๊ณผ ์ค์ฑ์ ํ์ ๋ก ์ป์ด์ง ๊ฒฐ๊ณผ์ ์ผ์นํ์์ต๋๋ค.
์ฑ๊ธ๋๋
ธ์
์๏ผ๋ฆฌ์์์(Lysozyme) ์
์๊ฒฝ ์ธก์
์ฑ๊ธ๋๋
ธ์
์์ ์๋ ๋จ๋ฐฑ์ง(lysozyme)์ ์
์๊ฒฝ ์ธก์ ์ ๊ด์์๊ด๋ฒ(PCS)๋ก ์คํ. Lysozyme์ ์ ํ์ ์์ธก์ ์ ์ํด ๋ฑ์ ์ (็ญ้ป็น)์ 11๋ถ๊ทผ์ ์๊ณ , ๋ถ์๋ 14kDa๋ถ์์ ์๋ค. ์ ๋๋๏ผ0.1mg/mL๏ผ์กฐ๊ฑด์์ ์ธก์ ์ ์คํํ์ฌ๋ 4.6nm์ ์
์๊ฒฝ ์ธก์ ์ด ๊ฐ๋ฅํ์์ต๋๋ค.
์ฑ๊ธ๋๋
ธ์
์๏ผ์๋ฃจ๋ฏธ๋ ์
์๊ฒฝ ์ธก์
X์ ๊ตฌ์กฐํด์์ผ๋ก 5.7nm ์
์๊ฒฝ์ผ๋ก ๋ณด๊ณ ๋์ด์ ธ ์๋ ๋จ๋ฐฑ์ง BSA๋ฅผ ์ธ์ฐ์์ฉ์ก์ผ๋ก ์
์๊ฒฝ ์ธก์ ์ ์คํ. ๊ด์์๊ด(PCS)์ธก์ ๊ฒฐ๊ณผ๋ 5.8nm๊ฐ ์ป์ด์ก์ต๋๋ค.
๏ผฎ๏ผฉ๏ผณ๏ผดํ์ค์๋ฃใ๏ผณ๏ผฒ๏ผญใ๏ผ๏ผ๏ผ๏ผ๏ผ๏ผฆ๏ฝ
๏ผฏ๏ผฏ๏ผจ๏ผ์ ํ์ ์์ธก์ ์
์ ํ์ ์๋ ์
์๊ณ๋ฉด์ ์ฑ์ง์ ํ๊ฐํ๋ ์ค์ํ ๊ฐ์
๋๋ค. ํ์ค์ ๊ธฐ์ด๋๋ ์๋ฃ๋ฅผ ์ฌ์ฉํ์ฌ ์ ํ์ ์์ ์ ๋ ํ๊ฐ๋ฅผ ํํ์์ต๋๋ค. ๊ทธ ๊ฒฐ๊ณผ ๊ธฐ์ค๋ด์ ์ ๋๊ฐ ์ธก์ ๊ฐ๋ฅํ์๊ณ , 0.3%์ ์์ฃผ ์ข์ ์ธก์ ์ฌํ์ฑ ๊ฒฐ๊ณผ๋ฅผ ์ป์์ต๋๋ค.
๋๋
ธ์
์๏ผLudoxโข ์ฝ๋ก์ด๋ ์ค๋ฆฌ์นด์ ์
์๊ฒฝ ์ธก์
๋๋
ธ์
์์ ์๋ ์ฝ๋ก์ด๋ ์ค๋ฆฌ์นด์ ํ๊ท ์
์๊ฒฝ์ ๊ณ ๋๋์ก์ฒด์ธ ์ํ์์ ๋์ ๊ด์ฐ๋(DLS)๋ฅผ ์ด์ฉํ์ฌ ์
๋์ธก์ ์ ํํ์์ต๋๋ค. ์๋ฃ๋ ์ ํ์ ์ -38mV์ ๋๋
ธ์
์๋ถ์ฐ์ก์ ์๊ณ , ์ธก์ ๊ฒฐ๊ณผ ๊ด์์๊ด๋ฒ (PCS) ํ๊ท ์
์๊ฒฝ 31nm๊ฐ ์ธก์ ๋์์ต๋๋ค.
์ ํ์๊ฐ ๋น๋์ค
์
์๊ฒฝ ์ธก์ ๋ฐฉ๋ฒใ์ ํ์ ์์ธก์ ๋ฐ ๋ถ์๋ ์ธก์ ์ ๋์์์ผ๋ก ์๊ฐ.
๋ํ ์ธก์ ์๋ฆฌ๋ฅผ ์ ๋๋ฉ์ด์
์ผ๋ก ์ค๋ช
ํ๊ฒ ์ต๋๋ค.
SZ-100 ์ ํ์๊ฐ ๋น๋์ค๋ ์ฌ๊ธฐ๋ฅผ ํด๋ฆญํ์ธ์
๋ธ๋ก์
๋๋
ธ์
์ํด์์ฅ์นใnano Partica SZ-100์๋ฆฌ์ฆ