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United States

SZ-100 ์‹œ๋ฆฌ์ฆˆ

๋‚˜๋…ธ ์ž…์ž ๋ถ„์„๊ธฐ

SZ-100 ๋‚˜๋…ธํŒŒํ‹ฐ์นด ์‹œ๋ฆฌ์ฆˆ๋Š” ์ž‘์€ ์ž…์ž์˜ ๋ฌผ๋ฆฌ์  ํŠน์„ฑํ™”์— ์ ์šฉ๋  ์ˆ˜ ์žˆ๋Š” ์ž…๋„ ๋ถ„์„๊ธฐ๋กœ, ์šฉ๋„์— ๋”ฐ๋ผ ๋‚˜๋…ธ ์ž…์ž ์ธก์ •, ์ œํƒ€ ์ „์œ„ ์ธก์ •, ๋ถ„์ž๋Ÿ‰(WM) ์ธก์ •๋“ฑ์˜ ์šฉ๋„๋กœ ์‚ฌ์šฉ๋ฉ๋‹ˆ๋‹ค.

Segment: Scientific
Manufacturing Company: HORIBA, Ltd.
  • ๋‚˜๋…ธ์‚ฌ์ด์ฆˆ์˜ ํŠน์„ฑ์„ ํ•ด์„ํ•˜๋Š” ์ค‘์š”ํ•œ 3๊ฐ€์ง€ ์š”์†Œ์ธก์ • (๋‚˜๋…ธ์ž…์ž์ธก์ •ใƒป์ œํƒ€์ „์œ„์ธก์ •ใƒป๋ถ„์ž๋Ÿ‰์ธก์ •)์„ ํ•œ๋Œ€์— ์ง‘์•ฝ.
  • ppm ์˜ค๋”์˜ ํฌ๋ฐ•๊ณ„๋ถ€ํ„ฐ ์ˆ˜์‹ญ๏ผ…๋ ˆ๋ฒจ์˜ ๊ณ ๋†๋„์‹œ๋ฃŒ๊นŒ์ง€, ๋ณธ๋ž˜์˜ ์ƒํƒœ ๊ทธ๋Œ€๋กœ ์ƒ˜ํ”Œ๋งใƒป์ธก์ •์ด ๊ฐ€๋Šฅ.
  • ๋ฏธ์†Œ์šฉ๋Ÿ‰์ „๊ธฐ์˜๋™์…€์„ ์ž์ฒด๊ฐœ๋ฐœ, 100ฮผL์ƒ˜ํ”Œ๋ง์—์„œ์˜ ์ œํƒ€์ „์œ„ ์ธก์ •๊ฐ€๋Šฅ.
  • ์ฝœ๋กœ์ด๋“œ์ž…์ž, ๊ธฐ๋Šฅ์„ฑ๋‚˜๋…ธ์žฌ๋ฃŒ, ๊ณ ๋ถ„์ž, micelle,  ๋ฆฌํฌ์ข€,  ๋‚˜๋…ธ์บก์А๋“ฑ ๊ด‘๋ฒ”์œ„ํ•œ ์‘์šฉ๋ถ„์•ผ์— ์ ํ•ฉ.
    ์ƒ˜ํ”Œ๋งํ›„์—๋Š” ์ธก์ •๊ฐœ์‹œ ๋ฒ„ํŠผ์„ ๋ˆ„๋ฅด๋Š” ๊ฒƒ์œผ๋กœ ์˜คํผ๋Ÿฌ์ด์…˜ ์™„๋ฃŒ.

 

ํญ๋„“์€ Application

โ—์„ธ๋ผ๋ฏน๋‚˜๋…ธ์ž…์ž
โ—๊ธˆ์†๋‚˜๋…ธ์ž…์ž
โ—์นด๋ณธ
โ—์ œ์•ฝ
โ—๋ฐ”์ด๋Ÿฌ์Šค
โ—๋„๋ฃŒใƒป์•ˆ๋ฃŒ
โ—ํ™”์žฅํ’ˆ
โ—ํด๋ฆฌ๋จธ
โ—์‹ํ’ˆ
โ—CMP

์ž…์ž๋ถ„ํฌ์ธก์ •

ใƒป์ธก์ • ๋ฒ”์œ„๏ผš0.3nmใ€œ8000nm
ใƒปNEDO๊ตญ๊ฐ€ ํ”„๋กœ์ ํŠธ์™€ ๊ณต๋™๊ฐœ๋ฐœ๋กœ ๊ณ ์„ฑ๋Šฅํ™”๋ฅผ ์‹คํ˜„.
ใƒป์‹ฑ๊ธ€๋‚˜๋…ธ์ž…์ž์ „์šฉ ๊ด‘ํ•™๊ณ„์—,  90๋„ ๊ด‘ํ•™๊ณ„๋ฅผ ์ฑ„์šฉ.
ใƒปํญ๋„“์€์ธก์ •์‹œ๋ฃŒ๋†๋„๋ฒ”์œ„
ใ€€๋“€์–ผ๊ด‘ํ•™๊ณ„ ํƒ‘์žฌ๋กœ ์Šฌ๋Ÿฌ๋ฆฌ, ์•ˆ๋ฃŒ ๋“ฑ ๊ณ ๋†๋„ ์‹œ๋ฃŒ๋ถ€ํ„ฐ, micelle, ํด๋ฆฌ๋จธ ๋“ฑ ํฌ๋ฐ•๊ณ„ ์‹œ๋ฃŒ์˜ ์ธก์ •๊นŒ์ง€ ๋Œ€์‘.

์ œํƒ€์ „์œ„์ธก์ •

ใƒปHORIBA๊ฐ€ ๋…์ž๊ฐœ๋ฐœํ•œ ํ‘œ์ค€ํ™”๋œ ๋งˆ์ดํฌ๋กœ์…€๋กœ 100ฮผL์˜ ์ƒ˜ํ”Œ๋ง ์šฉ๋Ÿ‰์œผ๋กœ ์ธก์ •๊ฐ€๋Šฅ

์ž…์ž๋ถ„ํฌ์ธก์ • ์˜ˆ


โ—Lysozyme๏ผˆ๋‹ฌ๊ฑ€ํฐ์ž๏ผ‰ใ€€์ดˆ์‚ฐ buffer pH4.3
ใ€€๋ถ„์ž๋Ÿ‰๏ผš์•ฝ14000ใ€€๋†๋„๏ผš0.1mg/mLใ€€ํ‰๊ท ์ง๊ฒฝ๏ผš4.0nm


โ—์—ผ์‚ฐ Thiamin๏ผˆ๋น„ํƒ€๋ฏผB1์—ผ์‚ฐ์—ผ๏ผ‰
ใ€€๋ถ„์ž๋Ÿ‰๏ผš337ใ€€๋†๋„๏ผš300mg/mLใ€€ํ‰๊ท ์ง๊ฒฝ๏ผš0.5nm

์ œํƒ€์ „์œ„์ธก์ • ์˜ˆ


โ—NIST SRM1980 ฮฑ-FeOOHใ€€์ด๋™๋„๏ผš2.53ยฑ0.12ฮผmcm/Vs
ใ€€<์ธก์ •๊ฒฐ๊ณผ>์ด๋™๋„๏ผš2.53ฮผmcm/Vs, ์ œํƒ€์ „์œ„๏ผš32.9mV


โ—RUDOXยฎ TM SiO2, 0.01mol/L KCl
ใ€€<์ธก์ •๊ฒฐ๊ณผ> ์ œํƒ€์ „์œ„๏ผš-38.3mV

โ€ปclass1 ๋ ˆ์ด์ ธ ์ œํ’ˆ

ใƒป์ž…์ž๋ถ„ํฌ์ธก์ •์›๋ฆฌใƒป์ œํƒ€์ „์œ„์ธก์ •์›๋ฆฌใƒป๋ถ„์ž๋Ÿ‰์ธก์ •์›๋ฆฌ๋Š”ใ€Œ๊ธฐ์ˆ ํŽ˜์ด์ง€ใ€๋ฅผ ์ฐธ์กฐํ•ด์ฃผ์„ธ์š”.
ใƒป์ž…์ž๋ถ„ํฌ์ธก์ •ใƒป์ œํƒ€์ „์œ„์ธก์ •ใƒป๋ถ„์ž๋Ÿ‰์ธก์ •์˜ ์–ดํ”Œ๋ฆฌ์ผ€์ด์…˜์€ใ€Œ์–ดํ”Œ๋ฆฌ์ผ€์ด์…˜์˜ ๊ธฐํƒ€์ž๋ฃŒใ€๋ฅผ ์ฐธ์กฐํ•ด์ฃผ์„ธ์š”.

์ธก์ • ๊ธฐ์ˆ 

  • ์ž…์ž๋ถ„ํฌ์ธก์ •์›๋ฆฌ

๋™์ ๊ด‘์‚ฐ๋ž€๋ฒ•์—์˜ํ•œ ๋ฏธ๋ฆฝ์ž ์‚ฌ์ด์ฆˆ์˜ ์ธก์ •๋ฐฉ๋ฒ•์€ ์šฉ์•ก์ค‘์— ๋ถ„์‚ฐํ•˜์—ฌ ๋ธŒ๋ผ์šด์šด๋™์„ ํ•˜๊ณ ์žˆ๋Š” ์ž…์ž์— ๋ ˆ์ด์ ธ๋ฅผ ์กฐ์‚ฌํ•˜์—ฌ ์ž…์ž๋กœ๋ถ€ํ„ฐ ์‚ฐ๋ž€ํ•˜๋Š” ๋น›์„ ๊ด‘์ „์ž์ฆ๋ฐฐ๊ด€(PMT)์œผ๋กœ ๊ฒ€์ถœํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค. ํฐ์ž…์ž๋Š” ๋А๋ฆฌ๊ณ  ์ž‘์€์ž…์ž๋Š” ๋น ๋ฅธ ๋ธŒ๋ผ์šด ์šด๋™์„ ํ•˜๊ณ  ์žˆ๊ธฐ๋•Œ๋ฌธ์— ์ž…์ž๋กœ๋ถ€ํ„ฐ ์‚ฐ๋ž€๊ด‘์€  ์ด ์›€์ง์ž„์˜ ์†๋„์— ๋”ฐ๋ฅด๋Š” ์ฐจ์ด๋ฅผ ๊ฐ€์ง„ ์‹ ํ˜ธ๋กœ์„œ ๊ฒ€์ถœํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค.  ์ž๊ธฐ์ƒ๊ด€๋ฒ•์— ์˜ํ•ด ํ•ด์„ํ•˜๊ณ  ์ž๊ธฐ์ƒ๊ด€ํ•จ์ˆ˜๋ฅผ ๊ตฌํ•˜๊ณ  ์ž…์ž๊ฒฝ์˜ ๋ถ„ํฌ๋ฅผ ์‚ฐ์ถœํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค.

์ž๊ธฐ์ƒ๊ด€ํ•จ์ˆ˜โ€ป์˜ ์‚ฐ์ถœ์€ ์–ด๋–ค ์ž„์˜์˜ ์‹œ๊ฐ„(t)์—์žˆ์–ด์„œ์˜ ์‚ฐ๋ž€๊ฐ•๋„์™€ ๊ทธ ฯ„์‹œ๊ฐ„ ํ›„์˜ ๊ฐ•๋„์˜ ์ฐจ์ด๋ฅผ ๋น„๊ตํ•˜๋Š” ๊ฒƒ์ž…๋‹ˆ๋‹ค. ํฐ ์ž…์ž๋“ค์€ ์ฒœ์ฒœํžˆ ์›€์ง์ด๊ธฐ ๋•Œ๋ฌธ์— ฯ„์‹œ๊ฐ„ ํ›„์˜ ์›€์ง์ž„(๋ณ€ํ™”)๋Š” ์ž‘๊ณ  ์™„๋งŒํ•œ ๊ณก์„ ์œผ๋กœ ๋˜๊ณ , ์ž‘์€ ์ž…์ž๋“ค์€ ๋น ๋ฅด๊ณ  ํ™œ๋ฐœํ•˜๊ฒŒ ์›€์ง์ด๊ธฐ ๋•Œ๋ฌธ์— ฯ„์‹œ๊ฐ„ ํ›„์˜ ๋ณ€ํ™”๊ฐ€ ํฌ๊ฒŒ ์ผ์–ด๋‚ฉ๋‹ˆ๋‹ค.๏ผˆ์œ— ๊ทธ๋ฆผ ์ฐธ์กฐ๏ผ‰์ด ์ž…์ž์˜ ์›€์ง์ž„์— ์˜ํ•œ pattern์˜ ๋ณ€ํ™”๊ฐ€ ํ™•์‚ฐ๊ณ„์ˆ˜๋กœ ์ •๋Ÿ‰ํ™”๋˜๊ณ , ์ž…์ž๊ฒฝ์˜ ๊ด€๊ณ„์‹๏ผšStokesใƒป์•„์ธ์Šˆํƒ€์ธ์‹์œผ๋กœ ๋ถ€ํ„ฐ ์ž…์ž๊ฒฝ(ํฌ๊ธฐ)(d)๊ฐ€ ์–ป์–ด์ง‘๋‹ˆ๋‹ค. (์•„๋ž˜ ์‹ ์ฐธ์กฐ)

โ€ป์ž๊ธฐ์ƒ๊ด€ํ•จ์ˆ˜๏ผš์‚ฐ๋ž€๊ด‘ ๊ฐ•๋„์˜ ํ”๋“ค๋ฆผ์„ ์‹œ๊ฐ„๋ณ€ํ™”๋กœ ๊ตฌํ•˜๊ณ  ์ด๊ฒƒ์„ ์ด์ฐจํ•จ์ˆ˜๋กœ ํ‘œ์‹œํ•œ ๊ฒƒ. ์ž„์˜์˜ ์‹œ๊ฐ„(t)์— ์žˆ์–ด์„œ์˜ ์‚ฐ๋ž€๊ด‘ ๊ฐ•๋„์™€  ๊ทธ ฯ„์‹œ๊ฐ„ ํ›„์˜ ๊ฐ•๋„๋ฅผ ๋น„๊ตํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค.

Stokesใƒป์•„์ธ์Šˆํƒ€์ธ์‹๊ณผ ํ™•์‚ฐ๊ณ„์ˆ˜๋กœ๋ถ€ํ„ฐ ์ž…์ž๊ฒฝ(ํฌ๊ธฐ) (d)๋ฅผ ๊ตฌํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค.

โ– ์ด์ฐจ์ž๊ธฐ์ƒ๊ด€ํ•จ์ˆ˜ ์‹

โ– Stokesใƒป์•„์ธ์Šˆํƒ€์ธ ์‹

D๏ผš ํ™•์‚ฐ๊ณ„์ˆ˜ k๏ผš ๋ณผ์ธ ๋งŒ์ƒ์ˆ˜ ๏ฝ‘๏ผš ์‚ฐ๋ž€ ๋ฒกํ„ฐ
T๏ผš ์ ˆ๋Œ€์˜จ๋„ ฯ„๏ผš Delay ์‹œ๊ฐ„ ฮท๏ผš ๋ถ„์‚ฐ๋งค์˜ ์ ๋„ ๏ฝ„๏ผš ์ž…์ž๊ฒฝ๏ผˆ์ง๊ฒฝ๏ผ‰

  • ์ œํƒ€์ „์œ„์ธก์ •์›๋ฆฌ (์ „๊ธฐ์˜๋™๋„ํ”Œ๋Ÿฌ๋ฒ•)

์šฉ์•ก์ค‘์— ๋ถ„์‚ฐ๋˜์–ด ์žˆ๋Š” ๋ฏธ๋ฆฝ์ž, ์ฝœ๋กœ์ด๋“œ๋Š” ํ”Œ๋Ÿฌ์Šค ํ˜น์€ ๋งˆ์ด๋„ˆ์Šค์— ๋Œ€์ „๋˜์–ด ์žˆ๊ณ , ๊ทธ ์ฃผ์œ„๋ฅผ ๋ฐ˜๋Œ€์˜ ์ „ํ•˜๋ฅผ ๊ฐ€์ง€๋Š” ์ด์˜จ์ด ๋‘˜๋Ÿฌ์‹ธ์„œ ์—ด์šด๋™์„ ํ•˜๊ณ  ์žˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค. ๊ฑฐ๊ธฐ์— ์ „์žฅ์„ ์ฃผ๋ฉด ์ž…์ž์˜ ์ „ํ•˜์™€ ๋ฐ˜๋Œ€์˜ ์ „์œ„๋ฐฉํ–ฅ์œผ๋กœ ์ด๋™ํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค. ์ด๋™ ์†๋„๋Š” ์ „ํ•˜๋Ÿ‰์— ๋น„๋ก€ํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค. ์ด๋™์‹œ์— ๋น›์„ ์กฐ์‚ฌํ•˜๋ฉด, ๊ทธ ์ด๋™ ์†๋„์— ๋”ฐ๋ผ์„œ ๋„ํ”Œ๋Ÿฌยท์‹œํ”„ํŠธ๋ฅผ ์ผ์œผํ‚จ ์‚ฐ๋ž€๊ด‘์ด ๊ด€์ฐฐ๋˜๋ฉฐ ์‹œํ”„ํŠธ๋Ÿ‰์€ ์ด๋™ ์†๋„์— ๋น„๋ก€ํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค. ๋‹ค์‹œ ๋งํ•ด ์‚ฐ๋ž€๊ด‘์˜ ์ฃผํŒŒ์ˆ˜๋ณ€ํ™”๋Ÿ‰์„ ์ธก์ •ํ•˜๋Š” ๊ฒƒ์œผ๋กœ, ์ž…์ž์˜ ํ‘œ๋ฉด์—์„œ์˜ ์ „์œ„=์ œํƒ€์ „์œ„๊ฐ€ ์ธก์ •๋ฉ๋‹ˆ๋‹ค. ๋ฏธ๋ฆฝ์ž์˜ ํ‘œ๋ฉด์ƒํƒœ๋ฅผ ํŒŒ์•…ํ•˜๋Š” ์ง€ํ‘œ๋กœ์„œ, ์ œํƒ€์ „์œ„๋ฅผ ์ธก์ •ํ•˜๊ณ  ๋ถ„์‚ฐ์„ฑ์ด๋‚˜ ๋ฏธ๋ฆฝ์ž์˜ ๊ธฐ๋Šฅ์„ฑ๊ฐœ์„ ์— ํ•„์š”ํ•˜๊ฒŒ ๋ฉ๋‹ˆ๋‹ค.

โ—Ž์ „๊ธฐ์˜๋™๋ฒ•

์ œํƒ€์ „์œ„๋ฅผ ์ธก์ •ํ•˜๋Š” ๋ฐฉ๋ฒ•์€ ์ด๋ฏธ ๋ช‡๋ช‡์ด ํ™•๋ฆฝ๋˜์–ด์ง€๊ณ  ์žˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค๋งŒ, HORIBA์˜ nano partica์—์„œ๋Š” ์ „๊ธฐ์˜๋™๋ฒ•์„ ์ฑ„์šฉํ•˜๊ณ  ์žˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค. ์šฉ๋งค์ค‘ (์šฉ๋งค์˜ ๊ตด์ ˆ์œจ=n)์— ๋ถ„์‚ฐ๋˜์–ด ์žˆ๋Š” ์‹œ๋ฃŒ ์ž…์ž์—, ๋ ˆ์ด์ € ๋น›(ํŒŒ์žฅ=ฮป)์„ ์กฐ์‚ฌํ•˜๊ณ , ์ „์žฅ(์ „๊ธฐ์žฅ)์„ ์ฃผ์—ˆ์„ ๋•Œ์— (์ „์••=E) ๊ฒ€์ถœ ๊ฐ๋„ฮธ๋กœ ํฌ์ฐฉํ•˜๋Š” ์ฃผํŒŒ์ˆ˜๋ณ€ํ™”์—์„œ๋Š” ์ž…์ž๊ฐ€ ์ด๋™ํ•˜๋Š” ์†๋„(V) ๋ฐ ์ด๋™๋„ (U=V/E)๋Š” ๋‹ค์Œ ๊ด€๊ณ„๊ฐ€ ์„ฑ๋ฆฝ๋ฉ๋‹ˆ๋‹ค. 
 

์–ป์–ด์ง„ ์ „๊ธฐ์ด๋™๋„์™€ ์ œํƒ€์ „์œ„์™€์˜ ๊ด€๊ณ„์—๋Š” ๋‹ค์Œ ์‹์ด ์„ฑ๋ฆฝ๋ฉ๋‹ˆ๋‹ค.

ฮถ ๏ผš์ œํƒ€์ „์œ„ ๏ผต ๏ผš์ „๊ธฐ์ด๋™๋„ ๏ผฅ ๏ผš์ „์•• n ๏ผš์šฉ๋งค์˜ ๊ตด์ ˆ์œจ
ฮต ๏ผš์šฉ๋งค์˜ ์œ ์ „์œจ ฮท ๏ผš์šฉ๋งค์˜ ์ ๋„ ๏ฝ†๏ผˆฮบa๏ผ‰ ๏ผšํ—จ๋ฆฌ์ƒ์ˆ˜

 

  • ๋ถ„์ž๋Ÿ‰์ธก์ •์›๋ฆฌ

์‹œ๋ฃŒ๋†๋„๋ฅผ ์กฐ์ •ํ•ด์„œ ์ •์ ๊ด‘์‚ฐ๋ž€๋ฒ•์— ์˜ํ•œ ๊ณ„์ธก์„ ํ•˜๊ณ , Debyeํ”Œ๋กฏ์„ ์ด์šฉํ•ด์„œ ์ ˆ๋Œ€๋ถ„์ž๋Ÿ‰์„ ๊ณ„์‚ฐํ•˜๋Š” ๋ฐฉ์‹์ž…๋‹ˆ๋‹ค. ํ•ฉ์„ฑ ๊ณ ๋ถ„์ž๋‚˜ ๋‹จ๋ฐฑ๋“ฑ์˜ ์ƒ์ฒด๊ณ ๋ถ„์ž๊นŒ์ง€ ํญ๋„“๊ฒŒ ๋Œ€์‘ํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค. ๋™์ผ ์ƒ˜ํ”Œ๋ง์œผ๋กœ ๋™์ ๊ด‘์‚ฐ๋ž€๋ฒ•์— ์˜ํ•œ ์ž…์ž๊ฒฝ๋„ ์ธก์ •ํ•  ์ˆ˜ ์žˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค. 

์‘์šฉ ํ”„๋กœ๊ทธ๋žจ

์‹ฑ๊ธ€๋‚˜๋…ธ์ž…์ž๏ผš๋งฅ์•„๋‹น(maltose)์ž…์ž๊ฒฝ ์ธก์ •

์ด๋‹น๋ฅ˜์— ์žˆ๋Š” maltose์˜ ์ˆ˜์šฉ์•ก์˜ ์ž…์ž๊ฒฝ ์ธก์ •์„ ๋™์ ๊ด‘์‚ฐ๋ž€์œผ๋กœ ์‹คํ–‰. ๊ทธ ๊ฒฐ๊ณผ ์ค‘์„ฑ์ž ํšŒ์ ˆ๋กœ ์–ป์–ด์ง„ ๊ฒฐ๊ณผ์™€ ์ผ์น˜ํ•˜์˜€์Šต๋‹ˆ๋‹ค.

์‹ฑ๊ธ€๋‚˜๋…ธ์ž…์ž๏ผš๋ฆฌ์†Œ์ž์ž„(Lysozyme) ์ž…์ž๊ฒฝ ์ธก์ •

์‹ฑ๊ธ€๋‚˜๋…ธ์ž…์ž์— ์žˆ๋Š” ๋‹จ๋ฐฑ์งˆ(lysozyme)์˜ ์ž…์ž๊ฒฝ ์ธก์ •์„ ๊ด‘์ž์ƒ๊ด€๋ฒ•(PCS)๋กœ ์‹คํ–‰. Lysozyme์˜ ์ œํƒ€์ „์œ„์ธก์ •์— ์˜ํ•ด ๋“ฑ์ „์ (็ญ‰้›ป็‚น)์€ 11๋ถ€๊ทผ์— ์žˆ๊ณ , ๋ถ„์ž๋Ÿ‰ 14kDa๋ถ„์ž์— ์žˆ๋‹ค. ์ €๋†๋„๏ผˆ0.1mg/mL๏ผ‰์กฐ๊ฑด์—์„œ ์ธก์ •์„ ์‹คํ–‰ํ•˜์—ฌ๋„ 4.6nm์˜ ์ž…์ž๊ฒฝ ์ธก์ •์ด ๊ฐ€๋Šฅํ•˜์˜€์Šต๋‹ˆ๋‹ค.

์‹ฑ๊ธ€๋‚˜๋…ธ์ž…์ž๏ผš์•Œ๋ฃจ๋ฏธ๋Š„ ์ž…์ž๊ฒฝ ์ธก์ •

X์„ ๊ตฌ์กฐํ•ด์„์œผ๋กœ 5.7nm ์ž…์ž๊ฒฝ์œผ๋กœ ๋ณด๊ณ ๋˜์–ด์ ธ ์žˆ๋Š” ๋‹จ๋ฐฑ์งˆ BSA๋ฅผ ์ธ์‚ฐ์ˆ˜์šฉ์•ก์œผ๋กœ ์ž…์ž๊ฒฝ ์ธก์ •์„ ์‹คํ–‰. ๊ด‘์ž์ƒ๊ด€(PCS)์ธก์ •๊ฒฐ๊ณผ๋Š” 5.8nm๊ฐ€ ์–ป์–ด์กŒ์Šต๋‹ˆ๋‹ค.

๏ผฎ๏ผฉ๏ผณ๏ผดํ‘œ์ค€์‹œ๋ฃŒใ€€๏ผณ๏ผฒ๏ผญใ€€๏ผ‘๏ผ™๏ผ˜๏ผ๏ผˆ๏ผฆ๏ฝ…๏ผฏ๏ผฏ๏ผจ๏ผ‰์ œํƒ€์ „์œ„์ธก์ • ์˜ˆ

์ œํƒ€์ „์œ„๋Š” ์ž…์ž๊ณ„๋ฉด์˜ ์„ฑ์งˆ์„ ํ‰๊ฐ€ํ•˜๋Š” ์ค‘์š”ํ•œ ๊ฐ’์ž…๋‹ˆ๋‹ค. ํ‘œ์ค€์ „๊ธฐ์ด๋™๋„ ์‹œ๋ฃŒ๋ฅผ ์‚ฌ์šฉํ•˜์—ฌ ์ œํƒ€์ „์œ„์˜ ์ •๋„ ํ‰๊ฐ€๋ฅผ ํ–‰ํ•˜์˜€์Šต๋‹ˆ๋‹ค. ๊ทธ ๊ฒฐ๊ณผ ๊ธฐ์ค€๋‚ด์˜ ์ •๋„๊ฐ€ ์ธก์ •๊ฐ€๋Šฅํ•˜์˜€๊ณ , 0.3%์˜ ์•„์ฃผ ์ข‹์€ ์ธก์ • ์žฌํ˜„์„ฑ ๊ฒฐ๊ณผ๋ฅผ ์–ป์—ˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค. 

๋‚˜๋…ธ์ž…์ž๏ผšLudoxโ„ข ์ฝœ๋กœ์ด๋“œ ์‹ค๋ฆฌ์นด์˜ ์ž…์ž๊ฒฝ ์ธก์ •

๋‚˜๋…ธ์ž…์ž์— ์žˆ๋Š” ์ฝœ๋กœ์ด๋“œ ์‹ค๋ฆฌ์นด์˜ ํ‰๊ท  ์ž…์ž๊ฒฝ์„ ๊ณ ๋†๋„์•ก์ฒด์ธ ์ƒํƒœ์—์„œ ๋™์ ๊ด‘์‚ฐ๋ž€(DLS)๋ฅผ ์ด์šฉํ•˜์—ฌ ์ž…๋„์ธก์ •์„ ํ–‰ํ•˜์˜€์Šต๋‹ˆ๋‹ค. ์‹œ๋ฃŒ๋Š” ์ œํƒ€์ „์œ„ -38mV์˜ ๋‚˜๋…ธ์ž…์ž๋ถ„์‚ฐ์•ก์— ์žˆ๊ณ , ์ธก์ •๊ฒฐ๊ณผ ๊ด‘์ž์ƒ๊ด€๋ฒ• (PCS) ํ‰๊ท  ์ž…์ž๊ฒฝ 31nm๊ฐ€ ์ธก์ •๋˜์—ˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค.

์ œํ’ˆ์†Œ๊ฐœ ๋น„๋””์˜ค

์ž…์ž๊ฒฝ ์ธก์ •๋ฐฉ๋ฒ•ใ€์ œํƒ€์ „์œ„์ธก์ • ๋ฐ ๋ถ„์ž๋Ÿ‰ ์ธก์ •์„ ๋™์˜์ƒ์œผ๋กœ ์†Œ๊ฐœ.
๋˜ํ•œ ์ธก์ •์›๋ฆฌ๋ฅผ ์• ๋‹ˆ๋ฉ”์ด์…˜์œผ๋กœ ์„ค๋ช…ํ•˜๊ฒ ์Šต๋‹ˆ๋‹ค.

SZ-100 ์ œํ’ˆ์†Œ๊ฐœ ๋น„๋””์˜ค๋Š” ์—ฌ๊ธฐ๋ฅผ ํด๋ฆญํ•˜์„ธ์š”

๋ธŒ๋กœ์…”

๋‚˜๋…ธ์ž…์žํ•ด์„์žฅ์น˜ใ€€nano Partica SZ-100์‹œ๋ฆฌ์ฆˆ

๋ชจ๋ธ๋ช…SZ-100
๊ตฌ์„ฑ๋ถ„์„๋ถ€๋ณธ์ฒด, PC, ํ”„๋ฆฐํ„ฐ
์ž…๋„์ธก์ •์›๋ฆฌ๊ด‘์ž์ƒ๊ด€๋ฒ•
์ธก์ •๋ฒ”์œ„0.3nm๏ฝž8ฮผm
์ธก์ •๊ฐ๋„ISO13321๊ทœ๊ฒฉ๋Œ€์‘
NIST์—์„œ ์ธ์ •ํ•œ ๋‹จ๋ถ„์‚ฐ ํด๋ฆฌ์Šคํƒ€์ผ๋ Œ๋ผํ…์Šค
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