半導体

イオン液体塩橋搭載pH電極

pH測定の応用編-フッ酸を含むサンプル測定

微細化加工がキーワードとなっている半導体・FPD製造分野では、エッチング・洗浄工程で使用される各種薬液の濃度管理やリンス工程で使用される超純水の純度管理においてよりいっそうの精度向上が求められています。堀場アドバンスドテクノが提供する計測器は、プロセスの進化に追従した高精度測定と高い安定性を実現しており、製品の歩留まり向上に貢献しています。