Gas Mass Flow Control and Measurement in Research and Testing Laboratories
外形寸法図・他（単位：mm）
SEF-Z500X Series
デジタルマスフローメータ
ベストセラーモデルのデジタルマスフローメータ。
自身でガス種/フルスケール流量を変更できるマルチレンジ/マルチガス機能、ピエゾバルブ搭載による±1.0 S.P.の高精度、高速応答、オールメタル対応など、最先端プロセスに必要な機能がこの1台に集約されています。
- マルチレンジ/マルチガス対応
お客様ご自身でマスフローコントメータの仕様変更が行なえます。 - 微少流量(5SCCM F.S)から大流量(200SLM F.S.)までフルラインアップ
- 高精度
±1.0% S.P.(セットポイント)保証。 - 高速応答
フルレンジ1秒以内(T98) Variable PIDを搭載。 - コンパクトサイズ
面間距離 106mm(50SLM以下、1/4VCR Type)、1.125inchガスパネルに対応。 - ウルトラクリーン対応
接ガス部オールステンレス構造の採用、内面研磨処理標準。
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