■開催日時:2024年9月18日(水)~9月20日(金)10:00~17:00
■会場:東京ビッグサイト 東ホール
■入場料:1,000円(入場登録者、招待状持参者、中学生以下は無料)
※ご来場の際は事前に来場登録をおすすめします。
四重極形質量分析計 Micropole System QL Series
真空チャンバーのコンディション管理やプロセスモニターに最適です。
エンドポイントの検出またはプラズマのコンディション管理を行うための、発光分析方式のエンドポイントモニタです。
独自の電極構造により高精度・高安定を実現します。
排ガス成分をリアルタイムに監視する成膜プロセス用
チャンバークリーニング終点検知モニタです。
真空プロセスの『品質』を知る ~チャンバー内を見ませんか?~
真空チャンバー内の異常検知や装置コンディションの維持・最適化に
貢献する“はかる”技術をご紹介致します。
このような課題をお持ちの方におすすめです
・製品の品質のばらつきを極小にするために、真空チャンバー内の雰囲気や異常を見える化したい
・エッチングプロセスのエンドポイント検出を高精度化したい
・成膜装置のメンテナンス時期の事前把握やダウンタイムの改善を求めている
■日時:9月19日(木) 13:30~14:10
■会場:東ホール内 出展者セミナー会場B [セミナーNo.B-10]
■お申込み:事務局ホームページよりお申し込みください。
■堀場エステック:V-04
皆様のご来場を心よりお待ちしております。