カタログ・アプリケーション

電子機器は多種多様な微小部品から構成されており、小さな異物でも機器全体の不具合につながるため、品質の確保には微小部の精密な解析が欠かせません。本アプリケーションでは、微小部X線分析装置 XGT-9000による電子部品の不具合解析事例を紹介します。

ベンチトップ蛍光X線分析装置（MESA-50）を使用して、プロトン交換膜燃料電池（以下、PEMFC）のシート状触媒のPt 担持密度を高速、かつ非破壊で測定する分析方法を紹介します。 異なるPt 担持密度を持つ試料から検量線作成し、その検量線から求めた定量値と試料のラベル値と高い相関性を確認しました、さらにその試料を複数回測定した結果において、Pt定量値の高い再現性も確認できました。

リチウムイオン電池材料の活物質など、活性が高い試料は大気に触れると直ちに変質してしまいます。微小部 X 線分析装置 XGT-9000 にトランスファーベッセルを用いることで、大気曝露の影響を受けず、試料本来の元素分布 状態を確認できます。

A4 サイズのコンパクト設計の蛍光 X 線分析装置 MESA-50 なら、限られた分析スペースで簡易に Si ウェハ面内の金属膜厚を分析できます。