カタログ・アプリケーション

太陽電池で使われる材料にはシリコン系のほか、セレン化銅インジウムガリウム (CIGS)や有機膜があります。本アプリケーションレポートでは、分光エリプソメーターによるこれらの材料の評価例のほか、デバイス構造に含まれる反射防止膜や透明導電膜も紹介しております。

プラスチックや紙といった包装に使われる材料は、酸素や二酸化炭素といった気体や湿気、匂いを透過します。これらの透過は中にある飲食品などを劣化させてしまいます。よって包装材料の表面には気体等の透過を防ぐために、酸化膜などのバリア層が付けられています。バリア層の品質は中の飲食品の状態に大きな影響を与えるため、その評価は重要になります。分光エリプソメーターはこのバリア層の評価に有効な装置です。今回は分光エリプソメーターUVISELシリーズを成膜装置に組み込み、PETフィルム上のバリア膜をインラインで評価しました。測定波長範囲にはPETの裏面反射の影響を受けない深紫外の領域を使いました。この結果、バリア膜の膜厚と光学定数(n-k)を求めることができました。また得られたデータを成膜装置にフィードバックし、成膜プロセスを制御することができます。