PDF
1.05
MB
バルク分析法としての活用例
深さ方向元素分析以外にも GD-OES の Ar プラズマスパッタを用いて、SEM 観察前の前処理用途やバルク分析用途での活用も増えてきています。
SPARK発光と同等の分析精度
| GD-OES法 | SPARK法 | |
| 精度（RSD） | 〇：平均2%以内程度 | 〇：平均2%以内程度 （JIS1253に準拠） |
正確性（対標準物質） | 〇：相対5%以内程度 | 〇：相対5%以内程度 （JIS1253に準拠） |
| 検出下限 | 〇：数～10ppm | 〇：数～10ppm （JIS1253に準拠） |
| マトリクス影響 | ◎（小）：鋼種によるスパッタ率の差が小さい | ×（大）：必要な鋼種の分だけ、検量線が必要。 |
| 分光干渉 | ◎（少）：発光線が5pmと細く、少ない | ×（多）：発光が強く、自己吸収も起こり、多い。 |
| 分析時間 | △：約2～3min/sample | ◎：約30sec～1min/sample |
| 特長 |
|
|
工場出荷時に検量線プリセット
各種鋼材・合金・鋳物など、測定対象となる金属材料の成分・濃度に適した検量線を工場出荷時に装置にプリセットすることができるため、すぐに品質管理などにも応用できます。
マトリクス影響の少ない検量線
rf-GD-OESは、マトリクス影響が少ない光源であるため、ダイナミックレンジが広く、検量線も幅広い成分・組成に対応することができます。
マーカス型高周波グロー放電発光表面分析装置（GDS）
