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大流量ベーパライザ
流路配管とヒータをアルミニウム合金で鋳込んだ高い気化効率の大流量ベーパライザです。
‣ 高気化効率・熱伝導の良いアルミニウム合金でステンレス配管とヒータを鋳込んだ構造です。 ‣ 詰まり、腐食に強い・ベーパライザ内部の接液部部品は、ステンレス配管のみです。 ‣ 高温使用可能・ベーパライザの設定温度は室温+5℃~300℃(常時使用可)です。 ‣ 濃度安定:新開発の定量化ノズルにより液流量をベーパライザに安定注入します。
【主な仕様】
■対応機種 H2O/IPA/TEOS/SiCl4 他
■発生流量(ガス流量) H2O : 10g/min (12.4SLM) IPA : 30g/min (11.1SLM) TEOS : 50g/min (5.3SLM) SiCl4 : 130g/min (17.1SLM)
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