最表面から母材まで ミクロンオーダでも数分で分析!
高真空不要ですぐ測れる!
水素から測定可能。 発光分析だから高感度! 最大45 元素まで同時分析!
材質の違いで窒素や炭素の侵入・拡散具合が異なる様子がわかります。 SUS316 材では、炭素がより深く入り込んだ濃化が確認できました。
発光分析だから高感度!
グロー放電領域のカソードスパッタリングを用いて、導電性・非導電性 皮膜をスパッタリングし、スパッタされた原子の Ar プラズマ内における 発光を分光測定します。この時発生する光は、各々の原子固有の波長を示し、その強度は原子の量に比例します。
材質の幅が広い!
表面処理前後の表面から深さ方向への元素プロファイルを比較しました。表面 処理後に、Na, K, Fe, Snが表面から少なくなっていることが確認できました。
パルススパッタリングの有効性
マーカス型高周波グロー放電発光表面分析装置(GDS)