半導体市場向けの高温対応静電容量型隔膜真空計「VG-500」を12月11日から開催のSEMICON Japan Virtualに出展

株式会社堀場エステック（以下、堀場エステック）は、2020年12月11日からオンラインで開催されるSEMICON Japan Virtualにおいて、半導体市場に向けた高温対応の静電容量型隔膜真空計「VG-500」を出展します。半導体製造ラインでは、成膜やエッチングなど、多くのプロセスに真空が用いられており、真空度を正確に測定することは非常に重要な要素となります。堀場エステックは、2015年に自己温度調節が可能な小型の静電容量型隔膜真空計「VG-200」を発売しました。「VG-500」は「VG-200」で培った高精度・高安定性技術を継承しながら、センサー部の温度を100℃～200℃の高温域の間で調整できるように設計しました。（「VG-200」のセンサー部温度調整範囲は55℃か100℃の選択）センサー部の高温化により、近年成膜プロセスで課題となっている蒸気圧が低い材料ガスの結露と熱分解を防ぐことができます。
本製品のさらなる拡販に取り組むとともに、今後も半導体プロセスの進化に貢献する総合的サプライヤーとして積極的な製品展開を続けてまいります。

開発の背景

半導体製造ラインでは様々な材料ガスが用いられており、近年はより蒸気圧が低いものを扱うことが増えています。蒸気圧が低い材料ガスを用いる場合、気化後のガス輸送経路の加熱が必要となります。そのような環境で使用する真空計においても、気化した原料がセンサー部で結露や熱分解を起こすことを防ぐために、正確な温度調整が求められます。また、材料ガスの中には腐食性が強いものもあり、センサー部の耐食性も重要となります。半導体向けの真空計には、このような過酷な環境下での使用における耐久性へのニーズが高まっています。
　

製品の特長

近年の半導体製造で多用される低蒸気圧の材料ガスは、僅かな温度調節の違いにより分解してしまうものがあります。当製品はこうした幅広い使用環境を想定し、センサー部の温度を100℃～200℃ という高温域で、お客様の要望に合わせて1℃刻みの設定ができる仕様にしました。また、オールメタル構造（接ガス部）の堅牢なつくりに加え、センサー部には耐食性に優れたニッケル合金のダイアフラムを採用。独自の電極構造により、高精度、高安定性を実現しています。
　

静電容量型隔膜真空計について

圧力センサー部分は、ダイアフラムと呼ばれる金属薄膜と電極で形成されています。ダイアフラムの両側に圧力差が加わった時に生じる膜の変形から、ダイアフラムと電極間の静電容量^※の変化を圧力としてはかります。力学的圧力を測定しているため、気体の種類による感度の差が無いことが特徴で、半導体プロセスに多用されている真空計です。

※ 静電容量：離されて配置された２つの導電体間において、どの程度の電荷が蓄えられるかを表す量。