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2013年12月 3日 - スマートフォンやタブレットPC用の機能性フィルムの安定生産に貢献 非半導体分野に向けた事業を強化。2016年に売上高10億円の事業をめざす
2013年11月27日 - 10台超の機能を1台でマルチ対応⇒圧倒的予備在庫とダウンタイム削減 半導体製造装置用ガス流量制御機器の最上位機種来月発売
2013年11月25日 - 450mmウエハ製造も視野、測定精度2倍で高温洗浄工程にも対応 本体容積は従来比4割も削減、省スペースで生産設備を最適化
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