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HORIBA独自の制御・計測・分析ソリューションでLabからFabへ全方位でのご提案
ガス流量制御による装置間のばらつきを削減し、歩留まりを向上させたい。
薬液に接液することなく、非接触で安全にコンタミのリスクなく薬液濃度の測定を行いたい。
レティクル/ブランクス/ペリクルに付着した異物を迅速に測定&除去したい。
金属薄膜の膜厚やICパッケージ内の不良原因を評価したい。
プロセス結果に影響のある残留ガスを確認し、歩留まり・稼働率を向上させたい。
プラズマプロセスのエンドポイントやプラズマの分布制御により、生産性を向上させたい。
毎日手洗浄が必要な現場で、メンテナンス負荷や試薬量を低減し、排水のpH値を安定して測定したい。