Application
コンパクトベーキングシステム LSC Series
概要
純水をはじめとした様々な液体材料をガス化し、任意の流量に制御し供給するシステムです。微少流量から大流量まで、安定した気化が可能です。気化発生時にも液体材料を気化タンクへ供給し、長時間の連続発生を可能としています。
特長
- 微少流量から大流量まで、安定した液体材料気化が可能です。
- 高温状態のガスでも流量制御可能なマスフローコントローラを搭載しています。
- 気化発生時にも液体材料を気化タンクへ供給することで、長時間の連続発生を可能としています。
- 液体材料と気化流量、発生条件に合うシステムの提案を行います。また、生産設備組込タイプなどの対応も行っています。お気軽にお問合せください。
製造会社: HORIBA STEC
