BHFモニタ CS-137

• 約3秒という測定周期で300mmプロセスの濃度管理をサポート
  約3秒という短い測定周期を実現。リアルタイムな濃度追随性を大幅に向上しました。マルチバスはもちろん、ワンバス方式の洗浄装置のきめ細やかな濃度管理をサポートします。
• コンパクト設計により洗浄装置の省スペース化に貢献
  床面積従来比約2/3(*)のコンパクト化設計により洗浄装置の省スペース化に貢献。容易に洗浄装置へ組み込めます。
  *当社製品CS-327との比較
• 洗浄工程でのロット不良減少により歩溜まり向上
  モニタ出力を用いてBHF溶液の補給制御を行うことにより、再現性の高い洗浄を実現。洗浄工程でのロット不良を減少させ、歩溜まり向上に貢献します。
• フルオート測定で、簡単管理を実現
  ユー ザはBHF溶液を導入するだけ。測定はフルオートなので、測定開始後の制御は一切不要です。また、参照スペクトル測定は空気を使用し水濃度も測定可能なた め、薬液の蒸発やウエハからの持ち出しによる水濃度値追従もでき、酸化膜エッチングのきめ細やかなコントロールが可能となります。
• 万全の気泡対策により、連続測定が可能
  脱泡機能を内蔵し、フローセル直前で気泡を分離するため、液を流した状態での連続測定が可能になりました。
• DC24Vを採用し、高い安全性を実現
  電源は、低電圧DC24Vを採用し、約45Wと感電に対する安全性と省電力を一段と向上させました。また漏水センサ内蔵により漏水発生時にBHF溶液供給遮断などの緊急対応を可能にしています。

価格

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