半導体・FPD製造

ワンバス洗浄・枚葉洗浄に最適、低濃度のフッ酸・塩酸・アンモニアを高精度に測定

サーマルバルブを搭載、コストメリットを追及したマスフローコントローラ

ソレノイドバルブを搭載、コストメリットを追及したマスフローコントローラ

PDシリーズの高性能を継承しながら、一層の小型化により、優れたコストパフォーマンスを実現。レティクルストッカやステッパ、洗浄装置などへの組み込みも可能です。

レティクル反転機構0.5ー50μm選択可能検査系1系統装置内蔵／組合せ型

マスフローコントローラの動作確認を行う簡易チェッカです。

メタルO-リング対応の大流量モデル

信頼性の高いサーマルセンサ、ソレノイドバルブを搭載したアナログマスフローコントローラ。10SCCMから200SLMまでのワイドレンジコントロール。

サーマルバルブ搭載の高安定性アナログマスフローコントローラ

微少流量から大流量計測に対応したソレノイドバルブ搭載のマスフローメータ

サーマルバルブ搭載、マスフローメータのベーシックモデル