La technique GDOES permet une analyse ultra rapide du profil élémentaire en profondeur des matériaux multicouches, offrant une mesure quantitative de tous les éléments en fonction de la profondeur avec une résolution de l'ordre du nanomètre. Les instruments GDOES à radiofréquence pulsée d'HORIBA Scientific intégrant le profilage d'interférométrie différentielle (DiP) sont des outils de caractérisation de choix pour la recherche sur les matériaux et l'élaboration de processus.
La source RF pulsée innovante permet de profiler tous les types d'échantillons solides avec des performances optimales, du premier nanomètre à plus de 150 µm. Les matériaux polymères peuvent être parfaitement érodés grâce à la pulvérisation ultra rapide (UFS) brevetée. Cette source peut également être utilisée pour préparer les surfaces des échantillons pour la microscopie électronique à balayage (MEB).
Tous les éléments peuvent être mesurés, notamment l'hydrogène, le deutérium, le lithium, le carbone, l'azote ou l'oxygène.
Le profilage d'interférométrie différentielle (DiP) breveté permet de mesurer directement la profondeur en fonction du temps, avec une précision nanométrique, pendant l'analyse par décharge luminescente.
Les détecteurs brevetés à haute gamme dynamique (HDD) utilisés dans tous les instruments à décharge luminescente d'HORIBA Scientific permettent une optimisation automatique et en temps réel de la sensibilité, afin d'analyser les éléments à l'état de traces dans une couche, et présents comme majeurs dans une deuxième couche, sans compromis et sans ajustements préalables.
The combination between pulsed GD OES and XPS, notably to look at embedded interfaces, is generating interest from the Surface community. Look at this open Access article published in Coatings.
Read the articleSpectromètre d'émission optique à décharge luminescente RF pulsée
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