Monitorización de la contaminación molecular en el aire en salas blancas de la industria electrónica

• El análisis manual requiere costos, habilidad y tiempo.
• ¿Quieres saber el momento adecuado para reemplazar el filtro químico
• Corrosión de matrices de dispositivos electrónicos
• Lente de espejo empañada de equipo de fabricación
• Degradación del voltaje de ruptura de la película oxidada
• Error de grabado
• Crecimiento anormal de película delgada

El sistema de monitoreo AMC de HORIBA permite monitorear las tendencias de concentración de contaminación y el mantenimiento filtro químico mediante mediciones automatizadas y complementa las mediciones convencionales basadas en análisis manuales, lo que contribuye a resolver los problemas de los clientes. Mediante la medición combinada de la atmósfera exterior, podemos ofrecer soluciones de medición más completas con este sistema.

Características

• Medición automática y continua estable.
  Estimar las causas de los defectos en los productos/equipos periféricos y cuándo reemplazar los filtros químicos mediante el seguimiento de las tendencias
• Fácil manejo
  No se requieren habilidades especiales. Reduce los costos de gestión, tiempo y mano de obra.
• Construir un sistema según solicitud
  Medición multipunto con selector de línea y tipo carrito portátil (opcional). Admite no solo mediciones en salas blancas sino también mediciones en aire exterior.

• Medición de la contaminación molecular en el aire (AMC) dentro de una sala blanca o en el aire de ventilación
• Medición enfocada en un punto como la periferia de ciertos equipos
• Detecta eventos específicos, como un aumento en la concentración de óxido de nitrógeno debido al aumento del tráfico (atmósfera exterior).