Überwachung der luftgetragenen molekularen Kontamination im Reinraum der Elektronikindustrie

• Manuelle Analysen sind kostenintensiv, erfordern Fachwissen und Zeit
• Möchten Sie wissen, wann der richtige Zeitpunkt für den Austausch des chemischen Filters ist?
• Matrizenkorrosion bei elektronischen Geräten
• Beschlagene Spiegellinse einer Produktionsanlage
• Abbau der Durchbruchspannung des oxidierten Films
• Ätzfehler
• Abnormales Wachstum dünner Filme

Das AMC-Überwachungssystem von HORIBA unterstützt die Überwachung von Kontaminationskonzentrationstrends und die Wartung chemischer Filter durch automatisierte Messungen und ergänzt herkömmliche Messungen auf Basis manueller Analysen und trägt so zur Lösung der Kundenprobleme bei. Durch kombinierte Messungen der Außenatmosphäre können wir mit diesem System umfassendere Messlösungen anbieten.

Merkmale

• Stabile automatische und kontinuierliche Messung
  Schätzen Sie die Ursachen von Defekten an Produkten/Peripheriegeräten und den Zeitpunkt des Austauschs der chemischen Filter durch die Überwachung von Trends ab.
• Einfache Bedienung
  Besondere Fähigkeiten sind nicht erforderlich. Reduzieren Sie Verwaltungskosten, Zeit und Arbeitskosten
• Bauen Sie ein System nach Anforderung auf
  Mehrpunktmessung mit Leitungswähler und tragbarem Trolley-Typ (Option). Unterstützt nicht nur Messungen in Reinräumen, sondern auch Außenluftmessungen.

• Messung der luftgetragenen molekularen Kontamination (AMC) in einem Reinraum oder in der Belüftungsluft
• Fokussierte Messung an einer Stelle, beispielsweise an der Peripherie bestimmter Geräte
• Erkennt bestimmte Ereignisse, wie zum Beispiel eine Erhöhung der Stickoxidkonzentration durch erhöhten Verkehr (Außenatmosphäre).