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电容式压力计
绝对压力测量对于包括半导体,FPD, HDD, PV和涂层在内的各种行业的真空工艺是至关重要的。电容式压力计从膜片的变形来确定总压力,当膜片的两侧施加压力差时,膜片发生形变。电容式压力计较于其他方法的优点是:
• 高精度
• 压力输出对气体的依赖较小
• 相对气体的耐腐蚀性
*1 传感器温度显示在铭牌上。订货时请注明传感器温度。 *2 线性,迟滞和重复性都包括在内。(环境温度25℃) *3 在规定的环境条件下,当产品周围有热源或某些产品紧密放置时,环境温度可能超过规定的环境温度。 *4 零点可调范围±5%。 *5 订货时请注明配件。
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