HORIBA 是高性能汽化器的供应商之一。HORIBA 液体源汽化器贯穿整个半导体制程，可以安全有效地将液体以气体形态输送至使用点。无论液体是需要在真空下还是常压下汽化，HORIBA 的汽化技术都能提供符合要求的汽化器。HORIBA 积累了 30 余年的汽化技术，分为直接注入、混合注入、鼓泡和烘烤汽化技术。
HORIBA 的液体源汽化器可以稳定有效地汽化液体物料。我们的汽化器还可以连接到 HORIBA 的自动供液系统，将汽化后的气体安全、连续地输送到使用点。由于液体储罐可在不中断制造过程的情况下更换，所以不会出现停机问题。
临界化学过程的汽化不是一件容易的工作。首先，先进的工艺在不断变化，并使用数据可能有限的新化学。在某些情况下，研究人员可能需要汽化设备来处理他们不愿透露身份的化学物质。一旦确定了化学性质，平衡液体流量、载气流量、上下游压力和材料相容性的工作就可以开始了。通常需要载气，在工艺过程中必须仔细计算和控制载气流量。汽化器的温度也是关键-平衡所需的温度和潜在的热对液体的损害。正确的蒸发方法的确定导致了对配套仪器-气体/液体流量控制器/仪表、蒸发喷嘴和温度控制器的仔细选择和规范。这不是一个简单的过程，但堀场是一个全球领导者的过程。
HORIBA的蒸发溶液范围从分数克/分钟到25克/分钟。
作为解决方案提供商，我们不仅可以推荐我们的VC和MV系列的汽化组件，我们还可以提供我们的LSC / LU等完全集成的系统。通过使用我们的世界领先的气体和液体质量流量控制器和仪表与我们的蒸发器，用户可以确保准确和可重复的关键过程化学汽化。
面的图表显示了物质的不同可能状态。从液体变成气态有两种方法。第一种方法是在保持压力稳定的同时提高温度，就像折线箭头所示 
。 这种方法在日常设置中经常使用，例如将水煮沸并将其转化为蒸汽。然而，加热液体需要时间，这使得快速蒸发变得困难。另一方面，也可以提前加热液体，然后突然降低压力，如实线箭头所示实线
。喷射器汽化段的压力可以瞬间降低，这使得液体源瞬间汽化成为可能。
混合注入系统液体汽化器
紧凑型加热汽化
直接液体注入系统
大流量液体源汽化控制系统
自动供液系统
数字式液体质量流量计
数字式液体质量流量计/控制器
如您有任何疑问，请在此留下详细需求信息，我们将竭诚为您服务。
