Quadrupole Mass Analyzer
电容式压力计
蒸汽浓度监测仪
用于腔室清洗终点监测的高级气体监测仪
等离子体发射控制器
High-Accuracy Infrared Thermometer [Built-in type]
高精度红外温度计[内置式]
高精度红外温度计[固定式]
基于光发射光谱和 MWL 干涉测量法的工艺终点/反应腔健康监测
光发射光谱蚀刻终点监测仪
基于实时激光干涉测量的摄像头终点监测
中等焦长成像光谱仪
Miniature High Throughput Spectrometer
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