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氣體監測儀

HORIBA的製程監控設備透過向各種設備提供回饋控制來提高品質、防止缺陷並有助於提高生產率。

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IR-300
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蒸汽浓度监测仪

IR-400
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用于腔室清洗终点监测的高级气体监测仪

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