拉曼光谱如何测量纳米电子结构

随着半导体器件尺寸缩小至纳米尺度，拉曼显微镜作为一种光学技术，由于衍射极限的限制，在分析半导体纳米结构方面遇到了根本性的障碍。为了克服这一难题，IMEC 的一个研究团队开发了一种基于偏振诱导增强的方法，能够有效地检测远小于光波长的结构。因此，拉曼光谱现在可以测量纳米尺度的应力、成分等参数，而这在以前是难以实现的。
此外，该方法能够检测材料的整体结构，而不仅仅是表面，使拉曼光谱成为一种可以同时测量材料体积和形状的工具。这为拉曼光谱在制造车间环境中的应用开辟了新的可能性。