MicOS

显微光致发光光谱仪

MicOS显微系统可提供完整的显微光谱测量解决方案，它主要包括一个直接与光谱耦合的显微探测头和一个高性能三光栅成像光谱仪，该光谱仪最多可同时接三个探测器。

制造商: HORIBA Scientific

使用标准显微镜进行发光表征时，通常会遇到显微镜与光谱仪光纤耦合效率低下的问题。对于很多附件，如侧向发光部件、或低温恒温器等耦合也比较困难。并且标准显微镜也不能灵活地耦合多个激光器作为激发光源。

HORIBA科学仪器部的MicOS显微系统融合了显微镜和光谱学，提供从样品一直到探测器的高效耦合。可选向下物镜或侧向物镜收集样品信号光。可选电动位移平台用于样品定位和扫描。MicOS可同时耦合多个激光器，以便用于不同样品的激发。该系统内置一个可视相机，可以实时观察样品。

MicOS可与多种激光器耦合，用于单波长激发和多波长激发。激光器既可以通过光纤耦合，也可以通过自由光路耦合到MicOS中。光纤耦合比较灵活方便，而自由光路耦合耦合效率更高，并且可以通过高倍物镜获得较高空间分辨率。

MicOS显微探测头内置耦合光学器件，用于将激光聚焦至样品，并收集样品信号光耦合到光谱仪和探测器。它还包括一个用于照明的白光源和一个用于观察样品的相机。下图是MicOS显微探测头的光路图。

HORIBA提供的全系列光谱仪可用于您的搭建系统中，其焦距和分辨率可满足不同需求——范围从140mm到1250mm。对于不同的应用如荧光、 PL、拉曼等，可根据具体需求选择合适的光谱仪。

单击此处查看全系列光谱仪。

CCD和IGA阵列探测器可在200nm-2100nm范围内提供高灵敏度、高速和高线性的光谱测量。不同的芯片类型和不同制冷温度探测器可选，以满足不同要求。无论是用于快速测量还是非常弱信号测量，都有相应探测器可以匹配。

单击此处查看所有可选的探测器。

用于全系列HORIBA拉曼光谱仪系统的LabSpec 6软件也可用于模块化拉曼系统。Labspec 6专业光谱分析软件包，提供完备的仪器操作和数据处理功能。

根据MicOS配置（向下探头或侧向探头），可以采用不同型号的低温恒温器，下面给出了一个示例。

提供多种位移平台，包括手动和电动可选。上图是不同位移平台的示意图。

手动XYZ位移平台可以对被测样品进行定位，适合不需要扫描成像的应用。

XY方向手动、Z方向电动的平台适合不需要实时扫描成像但需要精细控制焦点 (Z) 的应用。

XYZ电动位移平台适合需要对被测样品进行扫描成像的应用。控制器与LabSpec软件集成，提供一套完整的系统。

对于无法使用光学平台的用户，可以使用2' x 4'面包板，以便MicOS系统可以安装在任何标准平台上。

显微镜样品台可匹配晶圆支架，用于样品大面积扫描成像。标配4英寸晶圆样品支架。如需更大尺寸的晶圆支架请联系工厂。

显微光谱仪
Spectral Range¹		>200 nm – 1600 nm
Spectral Resolution²	iHR320	0.18 nm
Spectral Resolution²	iHR550	0.10 nm
>Detectors	Type	CCD 1024 x 256 OE³		IGA 512 x 50		Single Channel
>Detectors	Range	200 – 1050 nm		800 – 1600 nm		190 – 1600 nm⁴
Excitation Laser Wavelength⁵		325 nm, 355 nm, 405 nm, 532 nm, 633 nm, 785 nm
Microscope Objectives	Magnification	10x	50x		100x
Microscope Objectives	Spot Size	100 µm	<20 µm		<10 µm
Sample Stage		XYZ (manual or motorized)