A luz FUV é absorvida pelo ar abaixo de 180 nm. A purga de um monocromador com um gás (na maioria das vezes, nitrogênio) removerá todo o ar contido em seu interior, permitindo o trabalho até 160 nm, e até mesmo 140 nm se for realizada uma desgaseificação por aquecimento.
O vácuo é necessário para a espectroscopia VUV se você precisar trabalhar abaixo de aproximadamente 120 nm; caso contrário, a luz FUV é absorvida. O nível de vácuo pode ser HV (Alto Vácuo, de 10⁻³ mbar a algumas dezenas de 10⁻⁸ mbar) ou UHV (Ultra Alto Vácuo, de 10⁻⁹ mbar a 10⁻¹⁰ mbar). Esses dois níveis de vácuo correspondem a duas tecnologias diferentes: para a versão HV, a vedação é feita com juntas de Viton, enquanto juntas de cobre são necessárias para a versão UHV. Além disso, os processos de projeto e fabricação para sistemas UHV exigem atenção muito específica. Por exemplo, em UHV, é preciso usar foles metálicos ou passagens específicas para transmitir o movimento do exterior para o interior da câmara. Isso leva à necessidade de projetos mecânicos completamente diferentes entre os sistemas HV e UHV, tornando as soluções UHV mais caras.
Na maioria das vezes, a escolha entre a versão HV ou UHV é determinada pela aplicação e pela configuração na qual o sistema VUV será conectado. Um monocromador dedicado à montagem em uma linha de luz de síncrotron ou em câmaras de produção de elétrons geralmente utiliza a versão UHV.