A fabricação de pontas TERS baseia-se atualmente no revestimento de pontas AFM padrão (total ou parcialmente) com uma camada metálica ou na gravação de pontas totalmente metálicas por eletroquímica de fios metálicos volumosos 22. Estas últimas pontas são usadas para regulação STM ou microscopia de força normal/cisalhamento, uma vez montadas individualmente na forquilha de um ressonador de quartzo.
O método mais comum atualmente é a metalização (com ouro ou prata) de cantilevers de AFM convencionais com uma fina camada de algumas dezenas de nanômetros. O revestimento geralmente é feito por evaporação 8-9, pulverização catódica 10 ou eletrodeposição 11-12. A gravação dessa camada por feixe de íons focalizado (FIB) logo após o revestimento também pode ser usada para reduzir os efeitos de antena ao longo do próprio revestimento e aumentar a amplificação do campo eletromagnético 13. A sintonização do comprimento de onda de ressonância do plasmon pode ser obtida variando-se as dimensões do ápice final usando nanousinagem por FIB 14, que também pode ser usada para fios metálicos maciços gravados 15. Para uma maior amplificação das pontas de AFM-TERS, um método é enxertar uma nanopartícula na proximidade da ponta do AFM. Por exemplo, nanopartículas de prata podem ser cultivadas por fotorredução na extremidade de um cantilever por irradiação de luz em uma solução química composta de AgNO3 e agentes redutores 16. A eficiência de aprimoramento pode ser ajustada variando as condições de deposição e recozimento das nanopartículas de prata 17.
A nanopartícula também pode ter um formato cônico, o que melhora significativamente o aprimoramento produzido, estreitando as linhas de campo e acumulando densidade de carga no ápice. Nanocones metálicos podem ser obtidos com uma abordagem de cima para baixo por meio de litografia eletrônica para criar nanoburacos em uma camada de PMMA, evaporação de metal para preencher esses buracos (e então formar uma nanopartícula cônica) e remoção por dissolução para liberar o PMMA 18-19. Eles também podem ser obtidos por um processo de corrosão seca de uma camada metálica, onde os nanocones aparecerão sob uma máscara protetora 20-21.