真空計測・ガスモニタ装置

堀場エステックのプロセスモニタリング機器で、品質の改善、不良の未然防止に、また各種制御機器へフィードバックコントロールすることで生産性向上に貢献します。

LG-100 Series
LG-100 Series

レーザーガス分析計

Micropole System QL series
Micropole System QL series

四重極形質量分析計

VG-200S
VG-200S

キャパシタンスマノメータ 隔膜式真空計

VG Series
VG Series

キャパシタンスマノメータ 隔膜式真空計

IR-400 Series
IR-400 Series

チャンバークリーニング終点検知用ガスモニタ

IR-300 Series
IR-300 Series

ガス濃度モニタ