HORIBA STECは多種多様な液体材料の精密計測制御技術や気化技術をノウハウとして蓄積。
半導体プロセスに用いられる液体材料気化システムから、燃料電池ガスセンサの開発・生産分野における気化システムなど、幅広い産業へ液体材料気化システムを提供しています。真空チャンバへの気化ガス供給のみならず、大気圧ラインへの気化ガス供給等多様な要求に対応しています。
気化システムから液体材料の供給信号を受け、液体材料自動供給システムから液体材料を指示どおりに各々の気化システムへ供給します。気化システムにおいて気化ガスが発生中であっても、HORIBA STEC独自の熱交換システムにより液体材料の供給が可能です。また、温度管理をすることにより、ユースポイントまで再液化が生じない対策・手法を確立するなど「液体材料気化システムにおけるトータルソリューション」をご提案します。
合成石英生産設備への応用
現在のIT社会の基幹を担う合成石英の生産プロセスにおいても、HORIBA STECの液体材料気化システムが数多く活躍しています。合成石英の生産にはケイ素を含有する液体材料（SiCl4）が用いられますが、安定・連続発生が可能な生産設備として、HORIBA STECのベーキング方式気化システムが採用されています。
テストガス発生システムへの応用
家庭用ガス警報機や飲酒運転防止用アルコール検知器、携帯酸素用酸素濃度モニターなどの性能評価には多様なテストガスが用いられます。HORIBA STECのテストガス発生システムは、多成分のガスを任意濃度で発生させるとともに、水分やアルコール等を添加したテストガスを発生させることができます。
水分やアルコール等の添加には液体材料気化システムが用いられ、PPM濃度の水分添加により幅広いテストガスの発生が可能な総合的なシステムを提供しています。
▶液体材料の発生濃度・流量に応じた最適な気化システムの構築が可能
▶試験体の昇温制御や分析計の搭載等、用途に応じた総合的なシステムの構築が可能
▶パソコン・PLCを搭載し、複雑な制御もタッチパネルによる簡単な操作が可能
気化条件と液体材料